[实用新型]输送电子元件用抓取装置有效
| 申请号： | 201220750120.X | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203225242U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 王振荣;黄春杰;张路 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 输送 电子元件 抓取 装置 | ||
1.输送电子元件用抓取装置，其特征在于，包括机架和驱动件以及两个抓持件，所述驱动件设于所述机架上，至少一个所述抓持件可往复运动地设置；所述驱动件驱动所述抓持件往复运动。
2.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述抓持件为两块相对设置的L形板；至少一个所述L形板可运动地设置；所述驱动件驱动至少一个L形板运动。
3.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述驱动件还包括弹簧，所述驱动件为单作用气缸，所述单作用气缸安装在所述机架上且与所述抓持件连接，所述弹簧一端安装在所述机架上、另一端连接在所述抓持件上；所述单作用气缸驱动所述抓持件运动而使所述弹簧产生弹性变形，产生弹性变形的弹簧使所述抓持件复位。
4.根据权利要求3所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述单作用气缸为两个，每个单作用气缸驱动一个抓持件运动；所述弹簧为拉伸弹簧，每个拉伸弹簧与一个抓持件连接。
5.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述夹持组件还包括滑块，机架上设置有导轨；所述滑块滑动地设于所述导轨上；所述驱动件驱动所述滑块移动；所述抓持件安装于所述滑块上。
6.根据权利要求5所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述夹持组件还包括连接杆，所述连接杆一端连接在所述滑块上，另一端连接在所述抓持件上。
7.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述驱动件为双作用气缸，所述双作用气缸的两个活塞杆分别连接一个所述抓持件；两个抓持件分别位于双作用气缸两侧。
8.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述驱动件为直线电机，所述直线电机驱动所述抓持件运动。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
