[实用新型]柔性载带电镀装置有效
申请号: | 201220750507.5 | 申请日: | 2012-12-31 |
公开(公告)号: | CN203112947U | 公开(公告)日: | 2013-08-07 |
发明(设计)人: | 王振荣;陈概礼;程鹏 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25D7/06 | 分类号: | C25D7/06;C25D5/56;C25D19/00 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 电镀 装置 | ||
1.柔性载带电镀装置,其特征在于,包括:
放料组件,所述放料组件用于支撑柔性载带并放出柔性载带;
电镀组件,所述电镀组件用于电镀柔性载带;
烘干组件,所述烘干组件用于烘干电镀后的柔性载带;
和收卷组件,所述收卷组件驱动所述柔性载带先后经由所述电镀组件和烘干组件处理,并将烘干后的柔性载带卷绕成卷。
2.根据权利要求1所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述放料组件包括第一机架、用于支撑柔性载带的放料盘和进料轮;所述放料盘和所述进料轮可转动地设置于第一机架上,所述放料盘和所述进料轮相隔一定距离。
3.根据权利要求2所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述放料组件还包括第一调节件,所述第一调节件包括第一配重轮,所述第一配重轮可上下运动地设置在所述放料盘和所述进料轮之间。
4.根据权利要求3所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述第一机架上开设有第一滑槽,所述第一配重轮可沿所述第一滑槽上下运动地设置;所述第一调节件还包括至少一个第一检测元件,所述第一检测元件安装在所述第一配重轮的运动路线上,用于检测第一配重轮是否到达指定高度。
5.根据权利要求4所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述放料盘由第一电机驱动旋转,所述进料轮由第二电机驱动旋转。
6.根据权利要求5所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述第一配重轮可受柔性载带拉动向上运动,且可在自身重力作用下向下运动地设置。
7.根据权利要求5或6任一项权利要求所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述放料组件还包括至少一个用于张紧柔性载带的第一张紧轮,所述第一张紧轮安装于所述放料盘与进料轮之间。
8.根据权利要求7所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述放料组件还包括至少一个第一止动装置;所述第一止动装置具有第一伸缩件,所述第一伸缩件与第一张紧轮相对设置;所述第一伸缩件伸出后与所述第一张紧轮夹持柔性载带,使柔性载带停止输送。
9.根据权利要求8所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述的第一止动装置设置于第一配重轮与放料盘之间。
10.根据权利要求1所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述收卷组件包括第二机架、主动轮和收带轮;所述主动轮可转动地设置在第二机架上,用于驱动柔性载带移动;所述收带轮可转动地安装在所述第二机架上,用于将柔性载带卷绕成卷。
11.根据权利要求10所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,还包括第三电机和第四电机,所述第三电机与所述主动轮连接并驱动所述主动轮转动,所述第四电机与所述收带轮连接并驱动所述收带轮转动。
12.根据权利要求10所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述收卷组件还包括第二调节件,所述第二调节件包括第二配重轮,所述第二配重轮可上下移动地安装在所述第二机架上。
13.根据权利要求12所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述第二机架上开设有第二滑槽,所述第二配重轮沿所述第二滑槽上下运动地设置;所述第二调节件还包括至少一个第二检测元件,所述第二检测元件安装在所述第二机架上,所述第二检测元件设置在所述配重轮的运动路线上,用于检测第二配重轮是否到达指定高度。
14.根据权利要求10所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述收卷组件还包括压紧组件,所述压紧组件与所述主动轮相对设置,将所述柔性载带压靠在主动轮表面。
15.根据权利要求14所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述压紧组件包括压紧轮,所述压紧轮可转动地设置;所述压紧轮与所述主动轮相对设置,柔性载带自所述压紧轮与主动轮之间穿过;所述压紧轮将柔性载带压靠在主动轮上。
16.根据权利要求15所述的柔性载带电镀装置,其特征在于,所述压紧组件还包括弹性装置;所述压紧轮设置于弹性装置与所述主动轮之间;压紧轮与主动轮距离增大时,弹性装置受压缩变形而产生弹性变形力。
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