[发明专利]线锯装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种线锯装置，更详细地涉及一种具备能够接收在通过线锯切割锭块时所产生的碎片等的篮子的线锯装置。

背景技术

一般来说，在锭块的成长（growth）工序结束之后，为了将锭块制成晶片，进行按单片单位切割锭块的切片工序。

这种切片工序有多种形式，其中典型的是线锯（Wire Saw）方式，即为在腔室内使钢琴线或高张力线高速往返移动，并在其上喷洒淤浆（slurry）溶液，通过沾在线上的淤浆和单晶锭块之间的摩擦而进行切割的方式。

线锯方式可将锭块同时切割为多个晶片，从而能够提高单位时间的生产收率，因此目前得到广泛的应用。

韩国专利第887494号公开一种采用线锯的锭块切割装置。其中公开：横梁，即为固定锭块的单元，所述锭块设置于在腔室内侧的两个辊轮上缠绕300～400圈的线的上方，所述横梁的底面供锭块附着；工作板，底面供所述横梁附着，侧面具有嵌合形状；锭块送料台，具备与工作板的嵌合形状配合的凹槽，供安装所述工作板的嵌合形状结构。

利用如上锭块切割装置将锭块切割成厚度非常薄的晶片。然而，在将锭块切割成晶片的过程中，由于作为切割机构的线的张力等的不均匀性，晶片会部分地产生破损。

此时，破损的晶片向下坠落，坠落的晶片会在不完全从锭块分离的状态下坠落，而在夹在被切割的其他晶片之间的状态即相互接触的状态下坠落。

因此，为了接收坠落的晶片，以往在两个辊轮之间具备承接部件等，所述承接部件通常由金属等导体构成。

当坠落的晶片接触承接部件等时，在线上流动的断线感测用电流会流过承接部件，随着承接部件被导通，电流会流在与承接部件结合的整体腔室。

结果是，这种状态会被控制整体系统的控制部判断为和线已断线并与腔室接触的情况相同的状态。

发明内容

本发明的课题是解决上述以往的问题，其目的是提供一种线锯装置，该线锯装置能够防止由于在切割锭块时部分被破损而坠落的晶片而被判断为断线。

此外，本发明的另一目的是提供一种线锯装置，该线锯装置在外部易于识别部分被破损的晶片坠落于绝缘篮中的情况。

上述课题可通过本发明的以下方案来实现：一种线锯装置，用于切割向下移动的锭块，所述线锯装置的特征在于，包括：多个绕线管，相互隔开配置而旋转；线，在所述多个绕线管上往复缠绕为数圈，用于切割锭块；绝缘篮，配置在所述锭块的下部即所述多个绕线管的隔离空间；以及导向板，在所述绝缘篮的两侧与所述绕线管相对而结合。

其中，可进一步包括与所述绕线管的前端和后端结合的一对支承板。

此外，可进一步包括与所述绝缘篮结合，且分别与所述一对支承板可装卸地结合的结合件。此时，所述结合件可为绝缘材料。

此外，所述绝缘篮可包括底板和与所述底板的边缘结合的多个侧板，以形成内部空间。

此外，所述底板可包括：倾斜部，从所述底板的中央部的两侧向下倾斜形成；和贯穿部，延伸形成在所述倾斜部的末端，形成有穿孔。

此外，在所述侧板可形成有淤浆流出用的穿孔。所述侧板可包括：前端部，与所述底板的前方端部结合；和侧端部，沿所述底板的长度方向的两侧端部结合，在所述前端部可形成有可供握持的握持部。

此外，所述导向板可以以所述绝缘篮为中心向上外侧倾斜形成，用于导向在锭块切割时下落的锭块碎片。此时，所述导向板可为绝缘材料。

根据本发明，提供一种能够防止由于在切割锭块时部分被破损而坠落的晶片而判断为断线的线锯装置。

此外，提供一种在外部易于识别部分被破损的晶片坠落于绝缘篮中的情况的线锯装置。

附图说明

图1是本发明第一实施例的线锯装置中的切割部的立体图。

图2是图1的分解立体图。

图3是图2的绝缘篮和导向板的放大图。

图4和图5是本发明第一实施例的线锯装置的工作状态图。

具体实施方式

进行说明之前需要说明的是，在多个实施例中，对于具有相同的结构的结构要素使用相同的符号，并在第一实施例中进行代表性的说明，在其他实施例中对与第一实施例不同的结构进行说明。

下面，参照附图详细说明本发明的第一实施例的线锯装置。

本发明第一实施例的线锯装置如常规的线锯装置，在规定大小的腔室内侧设置有锭块，包括切割部和送出部，通过所述送出部向切割部供给线并从切割部回收线，所述切割部使所述锭块向下移动并由所述线将锭块切割成晶片，所述送出部在所述腔室的一侧包括多个辊轮及经由所述多个辊轮的线。