[发明专利]直动装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种应用于半导体制造装置或者液晶显示面板制造装置等的清洁环境中的滚珠丝杠、滚珠花键以及线性引导件等直动装置。

背景技术

半导体的晶片和液晶面板因为是超精密部件，所以非常细微的尘埃等就会导致不良的结果。因此，晶片和液晶面板的生产线或生产线的各装置内处于高清洁度的空间。另外，在半导体制造装置或液晶面板制造装置等的驱动部中，滚珠丝杠和线性引导件等直动装置被大量使用。

该滚珠丝杠或线性引导件等直动装置具备：轨道部件，其在外周面具有滚动体滚动部；移动部件，其在内周面具有与滚动体滚动部相对的负载滚动体滚动部，该运动部件相对于轨道部能够相对移动；多个滚动体，其能够滚动自如地装填在由滚动体滚动部和负载滚动体滚动部形成的滚动体滚动通道内；以及滚动体循环通道，其使滚动体滚动通道的起点和终点连通而形成环状（无终点状）的滚动体通路。

以滚珠丝杠为例进行说明，轨道部件为丝杠轴，移动部件为螺母，滚动体为滚珠。滚珠丝杠具有：丝杠轴，其在外周面具有螺旋状的滚珠滚动槽（滚动体滚动部）；螺母，其在内周面具有与丝杠轴的滚珠滚动槽（滚动体滚动部）相对的负载滚珠滚动槽（负载滚动体滚动部）；以及多个滚珠，其能够滚动自如地装填在由滚珠滚动槽（滚动体滚动部）和负载滚珠滚动槽（负载滚动体滚动部）形成的螺旋状的滚珠滚动通道（滚动体滚动通道）内。并且，当使通过滚珠与丝杠轴螺合的螺母与丝杠轴做相对旋转运动时，通过滚珠的滚动，丝杠轴和螺母在轴向上相对移动。而且，在滚珠丝杠具备滚珠循环通道（滚动体循环通道），其使滚珠滚动通道的起点和终点连通而形成环状的滚珠通路（滚动体通路）。

另外，在所述滚珠丝杠中，在螺母和丝杠轴进行相对旋转运动时，滚珠由于受到旋转方向和轴向的合成力在伴随滑动的同时进行滚动，在滚珠和滚珠滚动通道的接触部同时产生滚动摩擦和滑动摩擦。而且，由于滚珠间彼此接触时，相邻的滚珠间的旋转方向相反，因此滚珠间的相对滑动速度变为两倍而产生大的摩擦力。因此，在滚珠滚动通道和滚动体之间涂布润滑脂或油等润滑剂以实现所述摩擦力的减轻。

在此，由于滚动体的滚动运动，涂布于滚珠滚动通道和滚动体之间的润滑脂中的油分变成微粒而飞散。该飞散的微粒成为晶片和液晶面板等制品的品质不好的原因。因此，在半导体制造设备和液晶面板制造装置等的要求清洁度的情况下，清洁用的润滑脂、真空用的润滑脂（流体润滑剂）或固体润滑剂等被使用，由此，抑制了由位于滚珠和滚珠接触部的润滑剂产生的微粒（油分）的量。

然而，近年来在半导体领域，基于高生产量（高生产率）的高速运送和进一步的清洁度要求增高，通过现状的应用清洁用的润滑脂、真空用的润滑脂或固体润滑剂等方法，虽然抑制了该微粒的产生，但是其抑制量变得不充分。也就是说，近年来，在半导体领域高集成化进步，导电模式越来越微细化。在前工序（在半导体的制造工序中，从切断硅、制作晶片的工序到在晶片中形成回路、检查该回路的通电模式为止的工序）中的微粒向半导体晶片和液晶面板上的附着成为产品不合格的原因而越发被回避。而且，除了高集成化之外，对于以生产量（生产率）的提高为目的的晶片运送装置的高速化所伴随的微粒量的增加，应对方法变得不可或缺。

在此，以往作为真空环境下使用的线性引导件，例如图7中所示的线性引导件已为公众所知（参照专利文献1）。

图7中所示的线性引导件101具备：轨道部件102，其具有滚动体滚动部102a；移动部件103，其具有包含与滚动体滚动部102a相对的负载滚动体滚动部（未图示）的滚动体循环通道，该移动部件103相对于滚动部件102能够相对移动；多个滚动体(未图示)，其排列于滚动体循环通道；以及间隙密封垫104、105，其设置于移动部件103，不与滚动部件102接触，用于阻塞滚动部件102和移动部件103之间的间隙。间隙密封垫104通过安装螺钉106安装于移动部件103的轴向端部。