[发明专利]静压气体轴承及其制造方法

权利要求书

1.一种静压气体轴承，其特征在于，包括：合成树脂制的轴承基体，该轴承基体具有基部、环状突出部及供气通路，所述环状突出部从所述基部的一方的面上一体地突设，所述供气通路设于环状突出部及基部，且在一端开口于所述环状突出部的突出端面，在另一端开口于基部的外周面；以及合成树脂制的轴承体，该轴承体具有环状凹部、环状凹槽及多个空气吹出孔，所述环状凹部形成于与基部的一方的面相对的轴承体的一方的面上并对轴承基体的环状突出部进行收容，所述环状凹槽在轴承体的另一方的面上开口，所述多个空气吹出孔形成为自成节流孔，其在一端与环状凹槽连通，在另一端开口于环状凹部，所述轴承体在形成所述环状凹部的轴承体的外侧内周面及内侧内周面处与环状突出部的外周面及内周面焊接接合，从而与轴承基体一体化，环状凹槽具有至少0.3mm的宽度、至少0.01mm的深度，空气吹出孔在其一端具有至少30μm的直径，在环状凹部与环状凹槽之间形成有自成节流孔。

2.如权利要求1所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽具有0.3～1.0mm或0.3～0.7mm的宽度、0.01～0.05mm或0.01～0.03mm的深度，所述空气吹出孔在其一端具有30～120μm的直径。

3.如权利要求1或2所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽及空气吹出孔分别通过激光加工而形成。

4.如权利要求1至3中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

轴承基体的环状突出部的外周面具有：圆筒外壁面；与该圆筒外壁面连续且从该圆筒外壁面朝外侧直径逐渐扩开的环状的截头圆锥外壁面；以及与该截头圆锥外壁面连续而与所述基部的一方的面相连且直径比圆筒外壁面的直径大的圆筒外壁面，轴承基体的环状突出部的内周面具有：圆筒内壁面；与该圆筒内壁面连续且从该圆筒内壁面朝内侧直径逐渐缩小的环状的截头圆锥内壁面；以及与该截头圆锥内壁面连续而与所述基部的一方的面相连且直径比圆筒内壁面的直径小的圆筒内壁面，形成所述轴承体的所述环状凹部的外侧内周面包括具有形成所述环状凹部的开口端外缘的环状周缘的外侧圆筒内壁面，形成所述轴承体的所述环状凹部的内侧内周面包括具有形成所述环状凹部的开口端内缘的环状周缘的内侧圆筒内壁面，所述轴承体使外侧圆筒内壁面与环状突出部的外周面的圆筒外壁面嵌合，使内侧圆筒内壁面与环状突出部的内周面的圆筒内壁面嵌合，并使形成所述环状凹部的开口端外缘的外侧圆筒内壁面的环状周缘与环状突出部的外周面的截头圆锥外壁面接触，使形成所述环状凹部的开口端内缘的内侧圆筒内壁面的环状周缘与环状突出部的内周面的截头圆锥内壁面接触，所述轴承体被在这些彼此接触部位通过超声波焊接而焊接接合，从而与轴承基体一体化。

5.如权利要求1至3中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

轴承基体的环状突出部的外周面具有：圆筒外壁面；与该圆筒外壁面连续且从该圆筒外壁面朝外侧直径逐渐扩开的环状的截头圆锥外壁面；以及与该截头圆锥外壁面连续而与所述基部的一方的面相连且直径比圆筒外壁面的直径大的圆筒外壁面，轴承基体的环状突出部的内周面具有：圆筒内壁面；与该圆筒内壁面连续且从该圆筒内壁面朝内侧直径逐渐缩小的环状的截头圆锥内壁面；以及与该截头圆锥内壁面连续而与所述基部的一方的面相连且直径比圆筒内壁面的直径小的圆筒内壁面，形成所述轴承体的所述环状凹部的外侧内周面包括外侧圆筒内壁面、从该外侧圆筒内壁面直径逐渐扩开并具有形成所述环状凹部的开口端外缘的环状周缘的外侧截头圆锥内壁面，形成所述轴承体的所述环状凹部的内侧内周面包括内侧圆筒内壁面、从该内侧圆筒内壁面直径逐渐缩小并具有形成所述环状凹部的开口端内缘的环状周缘的内侧截头圆锥内壁面，所述轴承体使外侧圆筒内壁面与环状突出部的外周面的圆筒外壁面嵌合，使内侧圆筒内壁面与环状突出部的内周面的圆筒内壁面嵌合，并使外侧截头圆锥内壁面与截头圆锥外壁面接触，使内侧截头圆锥内壁面与截头圆锥内壁面接触，所述轴承体被在这些彼此接触的部位通过超声波焊接而焊接接合，从而与轴承基体一体化。