[发明专利]测量夹具、线锯、工件附装方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用钢丝切割半导体材料或者像陶瓷之类易碎材料的线锯，尤其是涉及一种测量钢丝位置的测量夹具、具有测量夹具的线锯以及使用测量夹具的工件附装方法。

背景技术

线锯包括主滚轮和在两个主滚轮之间跑动的钢丝。钢丝是以预定的间距螺旋状缠绕在主滚轮上。钢丝沿着它的轴线跑动。此外，给钢丝供应具有研磨颗粒的浆料。当金刚石之类的研磨颗粒被保持在钢丝上时，不必供应浆料。基于工件的晶体取向之类，调节工件的位置，使得工件和钢丝的位置满足一个预定的关系。在这个状态下，迫使工件抵在钢丝上，被切成片。

专利文献1揭示了一种具有工件取向调节装置的线锯，工件取向调节装置调节工件的晶体取向和钢丝跑动方向的位置关系。在该线锯中，工件支撑底座被支撑在一个框架上。所述工件支撑底座在一个水平平面中绕枢转轴线枢转。支撑工件的工件支撑主体设置在工件支撑底座的下表面上。框架包括一个调节构件，根据钢丝的跑动方向调节工件的晶体取向。在调节构件和工件支撑底座之间设置一个差动减速机构。该差动减速机构降低输送给工件支撑底座的调节构件的调节量的速度。

当切割工件时，将工件以黏贴在支撑板的状态下附装到工件支撑主体上。在这个状态下，从工件的端部表面之类检测工件的晶体取向。然后，工件取向调节装置调节工件的晶体取向和钢丝跑动方向的位置关系。

在这种类型的线锯中，图10和11中所示的工件支撑结构将工件支撑在工件支撑底座的下表面上。在所述工件支撑结构中，工件支撑主体52固定在工件支撑底座51的下表面。工件支撑主体52包括第一支撑槽52a和相对的第二支撑槽52b，第一支撑槽52a具有一个三角形的截面，第二支撑槽52b具有一个四边形截面。支撑块54设置在黏贴有工件W的支撑板53上，它包括与第一支撑槽52a啮合的啮合部分54a。与啮合部分54a啮合的锁构件55是可移动地设置在工件支撑主体52的第二支撑槽52b中。工件支撑主体52有一个侧表面，该侧表面具有将锁构件55推着抵住啮合部分54a的两个紧固螺栓56。

在啮合部分54a插入在第一支撑槽52a的状态下，紧固螺栓56被拧紧，推着锁构件55顶住啮合部分54a。这将支撑块54固定在工件支撑主体52上，将工件W附装在工件支撑主体52的下方部分。

用该工件支撑结构的情况下，需要操作人员弯腰到工作锯的加工区域，边检查钢丝和工件的位置关系边进行调节。换句话说，需要操作人员目测检查啮合部分54a相对于工件支撑主体52的接触状态来进行调节。此外，在这种情况下，如图10中的箭头所示，可以将工件W附装在一个位置，在这个位置它相对于工件支撑主体52有倾斜。如图11的箭头所示，可以将工件W在纵向上移动或者倾斜。用这种方式，调节起来困难且耗时，容易在工件W的附装位置出现错误。此外，无论什么时候当将工件W附装在工件支撑主体52上时，工件W的晶体取向是在这样一个状态下被检测，即工件W被附装在工件支撑主体52上以重新调节工件W的晶体取向和钢丝的跑动方向之间的位置关系。这会导致可操作性差，降低加工效率。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本发明专利公开No.9-141549。

发明内容

本发明要解决的问题

本发明的一个目的是提供一种测量夹具和线锯，当将工件附装在工件支架上时，不必调节工件相对于钢丝的位置，从而改善了可加工性和机器效率。

解决问题的技术手段

为了解决上述问题，本发明第一方面提供了一种附装在线锯的工件支架上以及从该工件支架上取下来的测量夹具。线锯包括两个主滚轮和在两个主滚轮之间跑动的钢丝。所述工件支架的位置可以绕竖直方向上延伸的轴线来调节。所述测量夹具包括：检测所述钢丝位置的检测装置。所述测量夹具是利用多个实现定位功能的钳夹固定器附装在所述工件支架上以及从该工件支架上取下来。