[发明专利]等离子显示面板及其制造方法无效
申请号: | 201280001641.8 | 申请日: | 2012-03-05 |
公开(公告)号: | CN102959674A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 中岛彻;上田健太郎;小林宏史;濑户信行 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02;H01J9/26;G03F7/22;H01J11/22;H01J11/36 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
技术领域
在此公开的技术涉及显示设备等所利用的等离子显示面板及其制造方法。
背景技术
公知在制造等离子显示面板(以下、称为PDP)之际会利用光刻法。再有,在基板尺寸较大的情况下,利用的是将曝光区域分为多个区域后进行曝光的分割曝光法(例如参照专利文献1)。
【在先技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】JP特开2007-200879号公报
发明内容
PDP的制造方法包括:通过将被设于前面基板上的包含感光性成分的电极膏剂层在前面基板的中央分为第1电极区域与第2电极区域这两个区域进行分割曝光,从而形成总线电极;通过将被设于背面基板上的包含感光性成分的隔壁膏剂层在背面基板的中央分为第1隔壁区域与第2隔壁区域这两个区域进行分割曝光,从而形成隔壁;在第1电极区域与第2电极区域的边界附近求取第1电极区域的开口率及第2电极区域的开口率;在第1隔壁区域与第2隔壁区域的边界附近求取第1隔壁区域的开口率及第2隔壁区域的开口率;在配置为第1电极区域与第1隔壁区域对置的情况下,求取从第1电极区域的开口率与第1隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第1差分值;在配置为第1电极区域与第2隔壁区域对置的情况下,求取从第1电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第1隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第2差分值;以及在第1差分值的绝对值小于第2差分值绝对值的情况下,配置为第1电极区域与第1隔壁区域对置,而在第1差分值的绝对值大于第2差分值的绝对值的情况下,配置为第1电极区域与第2隔壁区域对置。
PDP是通过制造方法而制造出的,该制造方法包括:通过将被设于前面基板上的包含感光性成分的电极膏剂层在前面基板的中央分为第1电极区域与第2电极区域这两个区域进行分割曝光,从而形成总线电极;通过将被设于背面基板上的包含感光性成分的隔壁膏剂层在背面基板的中央分为第1隔壁区域与第2隔壁区域这两个区域进行分割曝光,从而形成隔壁;在第1电极区域与第2电极区域的边界附近求取第1电极区域的开口率及第2电极区域的开口率;在第1隔壁区域与第2隔壁区域的边界附近求取第1隔壁区域的开口率及第2隔壁区域的开口率;在配置为第1电极区域与第1隔壁区域对置的情况下,求取从第1电极区域的开口率与第1隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第1差分值;在配置为第1电极区域与第2隔壁区域对置的情况下,求取从第1电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第1隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第2差分值;以及在第1差分值的绝对值小于第2差分值绝对值的情况下,配置为第1电极区域与第1隔壁区域对置,而在第1差分值的绝对值大于第2差分值的绝对值的情况下,配置为第1电极区域与第2隔壁区域对置。
附图说明
图1是表示PDP的示意结构的立体图。
图2是表示PDP的放电单元结构的示意图。
图3是表示在本实施方式涉及的分割曝光中对基板的左区域进行曝光的状态的图。
图4是图3中的4-4线剖视图。
图5是表示在本实施方式涉及的分割曝光中对基板的右区域进行曝光的状态的图。
图6是图5中的6-6线剖视图。
图7是表示本实施方式涉及的PDP的制造流程的一部分的图。
图8是从形成有总线电极的一侧观察本实施方式涉及的前面基板的图。
图9是从形成有纵隔壁的一侧观察本实施方式涉及的背面基板的图。
图10是表示配置为前面基板的区域A和背面基板的区域A对置的状态的图。
图11是将图10中的衔接部附近放大之后的图。
图12是表示配置为前面基板的区域A与背面基板的区域B对置的状态的图。
图13是将图12中的衔接部附近放大之后的图。
图14是表示总线电极与隔壁的线宽度差测量结果的图。
图15是表示利用了图14所示的前面板与背面板的情况下的亮度差的计算值和实测值的图。
具体实施方式
[1.PDP100的构成]
如图1所示,PDP100由前面板1与背面板2构成。前面板1和背面板2对置配置。在前面板1与背面板2之间设置放电空间。作为放电气体,向放电空间内封入例如氖(Ne)与氙(Xe)的混合气体。
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