[发明专利]玻璃板的制造方法及玻璃板的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用下拉法的玻璃板的制造方法及玻璃板的制造装置。

背景技术

先前，作为例如在液晶显示器等平板显示器中使用的玻璃基板的成形方法，使用有下拉法。

下拉法中的溢流下拉法包括以下步骤：在成形炉中使熔融玻璃自成形体的顶部溢出，由此在成形体的下方成形玻璃带；以及使玻璃带在缓冷炉中缓冷。缓冷炉是通过将玻璃带拉入成对的辊间而拉伸至所期望的厚度后，以降低玻璃带内部的应变或热收缩的方式将玻璃带缓冷。其后，将玻璃带切断成预定的尺寸而形成玻璃板，并层叠于玻璃板的摞上，或搬送至后续步骤。关于下拉法，例如记载于下述专利文献1中。

例如，将玻璃板用于液晶显示器用玻璃基板时，在玻璃板的表面形成TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)。例如，在TFT为多晶硅TFT的情形下，在显示器制造步骤中以400℃～600℃的温度对玻璃板进行热处理，但有玻璃板因该热处理后的冷却而发生热收缩从而尺寸微小地变化的情形。该尺寸的微小变化会引起玻璃板上形成的TFT形成位置相对于目标位置(像素位置)的位置偏移，其结果是，有发生液晶显示器的显示不良的情形。此外，在液晶显示器中，使形成有TFT的玻璃板与针对每个像素形成有彩色滤光片的玻璃板相互对置，并在玻璃板间设置液晶。然而，若形成有TFT的玻璃板由于热收缩而引起微小的尺寸变化，则亦有无法与形成有彩色滤光片的玻璃板以像素为单位进行正确的位置对准的情形。因此，为减少玻璃板的尺寸的变化，要求玻璃板的热收缩较小。再者，可通过在玻璃带的缓冷步骤中降低冷却速度来降低热收缩。

另外，下述专利文献2中公开有如下技术：为降低玻璃板的平面应变，而将成形炉及/或缓冷炉的炉外部环境(炉外部空间)的气压加压，减少缓冷炉内沿玻璃带产生的上升气流，由此抑制缓冷炉内的温度变动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2009-196879号公报

专利文献2：日本专利特开2009-173525号公报

发明内容

发明所欲解决的问题

然而，若如专利文献2所记载的那样仅提高炉外部空间的气压，则有炉外部空间的空气流入成形炉或缓冷炉的内部空间的情形。一般而言，炉外部空间的温度与成形炉或缓冷炉的炉内环境(炉内部空间)的温度相比低200～1200℃左右。此处，虽然如专利文献2所记载的那样，有产生了自冷却室或切断室等朝缓冷炉内上升的空气流的情形，但即便产生了空气流，由于该空气流在缓冷炉内上升的同时被加温，故而对炉内部空间的温度变动造成的影响较小。与此相对，在炉外部空间的空气自成形炉或缓冷炉的炉壁的间隙流入炉内部空间的情形下，由于该空气未经加热，故而该空气与炉内部空间的温度之间的温度差较大，在炉内部空间中，在流入的空气所通过的部分与其以外的部分间产生温度差，对炉内部空间的温度的均匀性造成较大的影响。此处，为降低热收缩率及平面应变，精度良好地进行玻璃带的温度管理较为有效。然而，若玻璃带通过如上所述的温度变动后的成形炉或缓冷炉的炉内部空间，则由于玻璃带的冷却速度局部不同，故而玻璃板的热收缩亦产生不均。再者，所谓变动是指温度自设定温度意外地发生变化的情况。

即，在该专利文献2的玻璃板的制造方法的缓冷处理(退火处理)中，有无法将缓冷炉内的温度保持于设定温度，从而使玻璃板的热收缩的不均变大的情形。因此，在将该玻璃板应用于要求热收缩的不均较小的玻璃板、例如平板显示器用玻璃板(尤其是，液晶显示器用玻璃基板、有机EL(electroluminescence，电致发光)显示器用玻璃基板或形成有氧化物半导体薄膜晶体管的显示器用玻璃基板)的情形下，存在有时会产生显示不良的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种在利用下拉法制造玻璃板时、效率良好地降低热收缩的不均的玻璃板的制造方法。

用于解决问题的技术手段

本发明的一形态是一种利用下拉法的玻璃板的制造方法，其包括：

熔解步骤，在该熔解步骤中，熔解玻璃原料而获得熔融玻璃；

成形步骤，在该成形步骤中，将上述熔融玻璃供给至设置于成形炉内的成形体来成形玻璃带，并形成上述玻璃带的带流；

缓冷步骤，在该缓冷步骤中，利用设置于缓冷炉内的辊牵引上述玻璃带，使上述玻璃带在上述缓冷炉内冷却；以及

切断步骤，在该切断步骤中，在切断空间内切断经冷却的上述玻璃带。