[发明专利]可挠性基板的搬送装置及显示元件或电子电路的制造系统

说明书

技术领域

本发明是关于搬送装置。

本申请是根据2011年2月24日申请的美国临时申请61/446，150号主张优先权，并将其内容援引于此。

背景技术

作为构成显示器装置等显示装置的显示元件，例如有液晶显示元件、有机电致发光(有机EL)元件等。目前，此等显示元件是以对应各像素在基板表面形成被称为薄膜晶体管(Thin Film Transistor：TFT)的主动元件(Active device)渐为主流。

近年来，提出了一种在片状的基板(例如薄膜构件等)上形成显示元件的技术。作为此种技术，例如有一种被称为卷轴对卷轴(roll to roll)方式(以下，简记为“卷轴方式”)的手法广为人知(例如，参照专利文献1)。卷轴方式，是将卷绕在基板供应侧的供应用滚筒的一片片状基板(例如，带状的薄膜构件)送出且一边将送出的基板以基板回收侧的回收用滚筒加以卷取，一边通过设置于供应用滚筒与回收用滚筒间的处理装置对基板施加所欲加工者。

在基板送出至被卷取为止的期间，例如一边使用多个搬送滚筒等搬送基板、一边使用多个处理装置(单元)来形成构成TFT的栅极电极、栅极绝缘膜、半导体膜、源极－漏极电极等，在基板的被处理面上依序形成可挠性显示器用的显示元件的构成要件。例如，在形成有机EL元件的情形时，是于基板上依序形成发光层、阳极、阴极、电路等。

专利文献1：国际公开第2006／100868号。

发明内容

然而，上述构成中，由于从送出至卷取为止被横挂的基板的尺寸较长，因此基板的管理困难。

本发明的态样的目的在于提供一种能减低搬送时的基板的管理负担的搬送装置。

根据本发明的态样，提供一种搬送装置，其具备：供应滚筒，送出形成为带状且具有可挠性的基板；回收滚筒，卷取从前述供应滚筒送出的前述基板；以及驱动部，将供应滚筒与回收滚筒驱动于相对从供应滚筒往回收滚筒的基板的运送方向交叉的方向。

根据本发明的态样，能减低搬送时的基板的管理负担。

附图说明

图1是显示本发明的实施形态的搬送装置整体构成的立体图。

图2是显示本实施形态的搬送装置一部分构成的立体图。

图3是显示本实施形态的搬送装置的动作的样子的俯视图。

图4是显示本实施形态的搬送装置的动作的样子的图。

图5是显示本实施形态的搬送装置的动作的样子的图。

图6是显示本发明的搬送装置其他例的俯视图。

图7是显示本发明的搬送装置其他例的前视图。

图8是显示本发明的搬送装置其他例的图。

具体实施方式

以下，参照图式说明本发明的实施形态。

图1是显示本实施形态的搬送装置1的整体构成的立体图。图2是显示从与图1不同的视点观看搬送装置1的一部分构成时的状态的立体图。

如图1及图2所示，搬送装置1是搬送形成为带状且具有可挠性的基板S的装置，设于例如制造工厂的地面FL。搬送装置1具有基台(基座)ST、第一轨3、第二轨4、基板送出机构5、基板卷取机构6、轨驱动机构7、滚筒驱动部8及控制装置CONT。

搬送装置1，是对形成为带状且具有可挠性的基板S的表面执行各种处理的卷轴对卷轴方式(以下，简记为“卷轴方式”)的装置。此种卷轴方式的系统，可使用于在基板S上形成例如有机EL元件、液晶显示元件等显示元件(电子元件)的情形。当然，在形成此等元件以外的元件(例如太阳能单元、彩色滤光器、触控面板等)的系统使用搬送装置1亦可。

以下，在说明本实施形态的搬送装置1构成时，设定XYZ正交坐标系统，一边参照此XYZ正交坐标系统一边说明各构件的位置关系。以下图中，设XYZ正交坐标系统中与地面FL平行的平面为XY平面。设XY平面中基板S通过卷轴方式移动的方向(长边方向)为Y方向，与Y方向正交的方向为X方向。又，设与地面FL(XY平面)垂直的方向为Z轴方向。

作为在基板处理装置PA成为处理对象的基板S，可使用例如树脂膜或不锈钢等的箔(foil)。树脂膜可使用例如聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚酯树脂、乙烯乙烯基共聚物(Ethylene vinyl copolymer)树脂、聚氯乙烯基树脂、纤维素树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚碳酸酯树脂、聚苯乙烯树脂、乙酸乙烯基树脂、聚对苯二甲酸乙二酯、聚二甲酸乙二醇酯、不锈箔等材料。