[发明专利]静电带电测量方法和装置

权利要求书

1.一种静电带电测量方法，其中，包括以下步骤：

施加步骤，对测量对象物施加预先选定的振动频率和振幅的振动；

强度测量步骤，测量伴随着上述测量对象物的振动而产生的电磁波的强度；

状态测量步骤，根据在上述强度测量步骤中测量出的电磁波的强度，对上述测量对象物的静电带电状态进行测量。

2.根据权利要求1所述的静电带电测量方法，其特征在于，还包括以下步骤：

振幅测量步骤，对上述测量对象物的振幅进行测量；

带电量测量步骤，根据在上述强度测量步骤中测量出的电磁波的强度和在上述振幅测量步骤中测量出的振幅，对上述测量对象物的静电带电量进行测量。

3.根据权利要求1或2所述的静电带电测量方法，其特征在于，还包括以下步骤：

判断步骤，在判断步骤中根据在上述强度测量步骤和上述振幅测量步骤的至少一个中测量出的电磁波的相位，判断上述测量对象物的静电带电状态是带负电还是带正电。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的静电带电测量方法，其特征在于，

在上述施加步骤中，向上述测量对象物照射预先选定的振动频率和声压的声波。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的静电带电测量方法，其特征在于，

在上述施加步骤中，以预先选定的振动频率和振幅使支承上述测量对象物的支承台振动。

6.根据权利要求4所述的静电带电测量方法，其特征在于，

在上述施加步骤中，具有设置在圆筒状构件的底部并产生声波的声波产生器，将上述测量对象物配置在上述圆筒状构件的上方。

7.根据权利要求4所述的静电带电测量方法，其特征在于，

在上述施加步骤中，通过声波聚焦单元使声波收敛来对上述测量对象物施加局部的振动。

8.根据权利要求7所述的静电带电测量方法，其特征在于，

上述声波聚焦单元使用圆锥状构件、圆形凹面透镜、声透镜以及利用多个声源的电子对焦方式中的至少一个来使从声波产生器产生的声波聚焦。

9.根据权利要求1～3中的任意一项所述的静电带电测量方法，其特征在于，

在上述施加步骤中具备振子，该振子具有与测量对象物接触的端部，使上述振子与上述测量对象物接触并以预先选定的振动频率和振幅进行振动。

10.根据权利要求7～9中的任意一项所述的静电带电测量方法，其特征在于，

在上述施加步骤中，扫描对上述测量对象物施加振动的位置，

在上述强度测量步骤中，与被扫描的位置对应地测量电磁波，由此测量上述测量对象物的静电带电分布。

11.一种静电带电测量装置，具备：

振动施加单元，其对测量对象物施加规定的振幅和频率的振动；

接收单元，其接收伴随着上述测量对象物的振动而产生的电磁波；

计算单元，其根据通过上述接收单元接收到的电磁波的强度，计算在上述测量对象物上带电的静电带电量。

12.根据权利要求11所述的静电带电测量装置，其特征在于，

还具备激光变位计，该激光变位计对上述测量对象物的振幅进行测量。

13.根据权利要求11或12所述的静电带电测量装置，其特征在于，

上述计算单元具备判断单元，该判断单元根据由上述接收单元接收到的电磁波的相位，来判断上述测量对象物的静电带电是带负电还是带正电。

14.根据权利要求11～13中的任意一项所述的静电带电测量装置，其特征在于，

上述振动施加单元具有声波产生装置，该声波产生装置对上述测量对象物照射预先选定的振动频率和声压的声波。

15.根据权利要求11～13中的任意一项所述的静电带电测量装置，其特征在于，

上述振动施加单元具有振动产生装置，该振动产生装置以预先选定的振动频率和振幅使支承上述测量对象物的支承台振动。

16.根据权利要求14所述的静电带电测量装置，其特征在于，

上述声波产生装置具有设置在圆筒状构件的底部的声波产生器，上述声波产生器对配置在上述圆筒状构件的上方的上述测量对象物照射声波。