[发明专利]超声波清洗装置和超声波清洗方法有效

专利信息
申请号: 201280003822.4 申请日: 2012-05-28
公开(公告)号: CN103229279A 公开(公告)日: 2013-07-31
发明(设计)人: 铃木一成 申请(专利权)人: 株式会社华祥
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304;B08B3/12
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 施娥娟;李雪
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 超声波 清洗 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种超声波清洗装置,其特征在于,

该超声波清洗装置包括:清洗槽,该清洗槽用于存储清洗液,供被清洗物浸渍;用于产生超声波振动的超声波振子;振动板,该振动板用于对所述清洗液施加所述超声波振子的超声波振动;超声波振荡器,该超声波振荡器用于驱动所述超声波振子,

以使所述被清洗物位于从所述超声波振子的振动面引出的到液面为止的垂线所形成的区域之外的方式保持所述被清洗物来进行被清洗物的清洗。

2.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于,

所述被清洗物被保持在与来自所述超声波振子的超声波的平面波不直接接触的位置。

3.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于,

驱动所述超声波振子以利用所述振动板朝向所述清洗槽的清洗液的液面施加超声波,从而在所述清洗液的液面上产生表面张力波。

4.根据权利要求3所述的超声波清洗装置,其特征在于,

利用所述清洗液的液面上的所述表面张力波来进行被清洗物的清洗。

5.根据权利要求3或4所述的超声波清洗装置,其特征在于,

以使所述清洗液沿着与所述表面张力波的传播方向相同的方向流动的方式供给清洗液。

6.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于,

从所述被清洗物到所述清洗液的液面的距离为10mm(毫米)以下。

7.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于,

以使所述被清洗物与所述清洗槽的清洗液的液面平行地位于所述清洗液的液面的附近的方式保持所述被清洗物。

8.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于,

所述超声波振子和所述振动板被设置成与所述清洗液的液面平行。

9.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于,

所述超声波振子和所述振动板被设置成相对于清洗液的液面倾斜。

10.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于,

在所述清洗槽的底部整个面上配置有所述振动板,驱动所述超声波振子的所述超声波振荡器具备振荡电路、振幅调制电路和频率调制电路,通过利用所述振幅调制电路和所述频率调制电路中的至少一个调制电路对由所述振荡电路产生的具有400KHz以上的频率的信号进行调制而得到的信号使所述超声波振子激振,从而在所述清洗液中照射超声波来进行清洗。

11.根据权利要求1所述的超声波清洗装置,其特征在于,

所述超声波振子俯视看来以围绕所述被清洗物的方式配置有单个或多个。

12.一种超声波清洗方法,该超声波清洗方法是利用超声波振动来对被清洗物进行清洗的超声波清洗方法,其特征在于,

设置有超声波振动产生单元和清洗槽,该超声波振动产生单元具有用于产生超声波振动的超声波振子,该清洗槽用于安装所述超声波振动产生单元,存储清洗液,供被清洗物浸渍,

以使所述被清洗物位于从所述超声波振动产生单元的所述超声波振子的振动面引出的到液面为止的垂线所形成的区域之外的方式保持所述被清洗物来进行被清洗物的清洗。

13.根据权利要求12所述的超声波清洗方法,其特征在于,

所述被清洗物被保持在与来自所述超声波振动产生单元的所述超声波振子的超声波的平面波不直接接触的位置。

14.根据权利要求12所述的超声波清洗方法,其特征在于,

驱动所述超声波振动产生单元的所述超声波振子而朝向所述清洗槽的清洗液的液面施加超声波,在所述清洗液的液面上产生表面张力波。

15.根据权利要求14所述的超声波清洗方法,其特征在于,

利用所述清洗液的液面上的所述表面张力波来进行被清洗物的清洗。

16.根据权利要求14所述的超声波清洗方法,其特征在于,

以使所述清洗液沿着与所述表面张力波的传播方向相同的方向流动的方式供给清洗液。

17.根据权利要求15所述的超声波清洗方法,其特征在于,

以使所述清洗液沿着与所述表面张力波的传播方向相同的方向流动的方式供给清洗液。

18.根据权利要求12所述的超声波清洗方法,其特征在于,

所述超声波振子俯视看来以围绕所述被清洗物的方式配置有单个或者多个。

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