[发明专利]有机EL元件的制造方法和制造装置

权利要求书

1.一种有机EL元件的制造方法，其特征在于，

该制造方法包括如下工序：

以使带状的基材与辊相接触的方式输送带状的基材的输送工序；

通过自蒸镀源喷出气化材料，从而使上述气化材料蒸镀到上述基材的规定部位的工序；以及

在蒸镀上述气化材料时，为了防止上述气化材料蒸镀到除了上述规定部位之外的部位，将用于遮蔽上述基材的遮蔽部配置在上述蒸镀源和上述基材之间的工序，

上述遮蔽部构成为能够被切换到如下位置：配置在上述蒸镀源和上述基材之间来遮蔽上述基材的遮蔽位置和自上述蒸镀源和上述基材之间退避来解除对上述基材的遮蔽的遮蔽解除位置，

上述遮蔽部一边与上述辊一起旋转，一边被切换到上述遮蔽位置与上述遮蔽解除位置。

2.根据权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于，

在上述遮蔽部为了在上述遮蔽部位于上述遮蔽位置的状态下遍及上述基材的整个宽度方向地配置，而形成得大于上述基材的宽度尺寸。

3.根据权利要求1或2所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于，

上述遮蔽部是触发式遮蔽板。

4.一种有机EL元件的制造装置，其特征在于，

该有机EL元件的制造装置包括：

辊，其与带状的基材相接触；

蒸镀源，为了将气化材料蒸镀到上述基材上，其朝向上述基材的规定部位喷出上述气化材料；以及

遮蔽装置，其以防止上述气化材料蒸镀到除了上述规定部位之外的部位的方式遮蔽上述基材，

上述遮蔽装置包括用于遮蔽上述基材的遮蔽部和能够将上述遮蔽部切换到如下位置的切换机构：使该遮蔽部配置在上述蒸镀源和上述基材之间来遮蔽上述基材的遮蔽位置和使上述遮蔽部自上述蒸镀源和上述基材之间退避来解除对上述基材的遮蔽的遮蔽解除位置，

上述遮蔽部一边与上述辊一起旋转，一边通过上述切换机构被切换到上述遮蔽位置与上述遮蔽解除位置。