[发明专利]氧化物烧结体以及溅射标靶有效
| 申请号： | 201280005106.X | 申请日： | 2012-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN103298767A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 金丸守贺;岩崎祐纪;松井实;后藤裕史;南部旭 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/457;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 洪秀川 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化物 烧结 以及 溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化物烧结体，其是将氧化锌、氧化锡、氧化铟的各粉末混合以及烧结而得到的，其特征在于，
当对所述氧化物烧结体进行X线衍射，
设2θ＝34°附近的XRD峰值的强度由A表示，
设2θ＝31°附近的XRD峰值的强度由B表示，
设2θ＝35°附近的XRD峰值的强度由C表示，
设2θ＝26.5°附近的XRD峰值的强度由D表示时，
满足下述式(1)：
[A/(A+B+C+D)]×100≥70···(1)。
2.如权利要求1所述的氧化物烧结体，其中，
当设所述氧化物烧结体中所含的金属元素的含量(原子％)分别为[Zn]、[Sn]、[In]时，[In]相对于[Zn]+[Sn]+[In]的比、以及[Zn]相对于[Zn]+[Sn]的比分别满足下式：
[In]/([Zn]+[Sn]+[In])＝0.01～0.35
[Zn]/([Zn]+[Sn])＝0.60～0.82。
3.如权利要求1或2所述的氧化物烧结体，其中，
所述氧化物烧结体的相对密度为90％以上、电阻率为1Ω·cm以下。
4.一种溅射标靶，其是使用权利要求1～3中任一项所述的氧化物烧结体而得到的溅射标靶，其特征在于，所述溅射标靶的相对密度为90％以上、电阻率为1Ω·cm以下。
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