[发明专利]被成膜基板、有机EL显示装置

权利要求书

1.一种被成膜基板，其利用蒸镀装置形成有蒸镀部，所述蒸镀装置具有：具备用于射出蒸镀颗粒的射出口的蒸镀源；和与所述蒸镀源相对配置、且具备从所述射出口射出的蒸镀颗粒通过的多个开口部的蒸镀掩模，所述蒸镀颗粒经所述开口部被蒸镀而形成所述蒸镀部，所述被成膜基板的特征在于：

所述被成膜基板具有在像素区域二维地排列的多个像素和与各像素电连接的多个配线，

以所述像素区域通过与所述开口部相对的区域的方式，使该被成膜基板相对于所述蒸镀掩模在一个方向上相对移动，并且从所述射出口射出所述蒸镀颗粒，由此，在包含所述像素区域的区域相互隔着间隙地形成多个蒸镀部，

所述多个配线的各端子配置于所述间隙。

2.如权利要求1所述的被成膜基板，其特征在于：

所述多个开口部在与所述被成膜基板的相对移动方向正交的方向上排列，

所述多个蒸镀部形成为在与所述相对移动方向对应的方向上延伸的直线状，

所述各端子配置于呈直线状形成的所述间隙。

3.如权利要求2所述的被成膜基板，其特征在于：

在所述各间隙配置有多个端子。

4.如权利要求3所述的被成膜基板，其特征在于：

配置于所述各间隙的多个端子在该间隙中排列在该间隙的延伸方向上，

所述配线的至少一部分从所述像素区域横穿所述蒸镀部到达该配线的端子。

5.如权利要求3所述的被成膜基板，其特征在于：

配置于所述各间隙的多个端子在该间隙中排列在该间隙的延伸方向上，

在所述各间隙平行配置有多个配线，

在配置于该间隙的多个配线中，具有距所述像素区域远的端子的配线具有用于避开距所述像素区域近的端子的避开部分，该避开部分的至少一部分与所述蒸镀部重叠。

6.一种有机EL显示装置，其特征在于：

包括形成有蒸镀部的权利要求1至5中任一项所述的被成膜基板，

所述蒸镀部包含通过被供给电流而发光的有机EL元件。