[发明专利]用于生产复杂的光滑微机械零件的方法

权利要求书

1.一种用单件材料制造微机械零件（11，21，31，41，51，61）的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

a）形成基材（1），所述基材包括用于制造所述微机械零件的负腔（3）；

b）用所述材料的层（5）涂覆基材（1）的所述负腔；

c）从基材（1）移除比所沉积的层（5）的厚度（e₁）更大的厚度（e₂），从而留下所述材料的层的位于所述负腔中的受限厚度；

d）移除基材（1），从而释放在所述负腔中形成的微机械零件（11，21，31，41，51，61）。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述负腔（3）包括形成齿（45，55，65）的壁。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述碳基材料（5）是结晶形式的。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述碳基材料（5）是非结晶形式的。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤b）和步骤c）之间，该方法包括以下步骤：

e）用第二材料（7）填充由所述第一材料（5）涂覆的腔（3），从而在步骤c）和d）之后获得由第一材料（5）制成的、且用第二材料（7）加强和/或装饰的微机械零件（51）。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤c）和步骤d）之间，该方法包括以下步骤：

f）用第二材料（7，17）填充由所述第一材料（5）涂覆的腔（3），从而在步骤d）之后获得由第一材料（5）制成的、且用第二材料（7，17）加强和/或装饰的微机械零件（51，61）。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤f）中，所述第二材料（17）形成为从所述腔凸出，以形成所述微机械零件的附加功能元件（12，14，16，62）。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的方法，其特征在于，所述第二材料（7，17）包括金属或金属合金。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述微机械零件形成时计的外部零件、摆轮游丝、摆轮、擒纵叉、夹板、轮系或擒纵轮。