[发明专利]用于疏油涂层的直接液体汽化

权利要求书

1.一种用于物理气相沉积的汽化单元，包括：

用于接收原液体材料的容器；

与容器耦接的盖子，该盖子包含：

可通过其将原液体材料注入容器中的孔径；和

用于在目标材料处于蒸气形式时允许该目标材料逃逸的多个孔；和

与孔径耦接的供给导管，该导管用于将液体形式的目标材料引导到容器中。

2.根据权利要求1的汽化单元，还包括用于与电阻加热单元耦接的插片。

3.根据权利要求1的汽化单元，其中，原液体材料包含：

疏油成分；和

稀释剂。

4.根据权利要求2的汽化单元，其中，容器和盖子包含钼。

5.根据权利要求2的汽化单元，其中，供给导管包含耐热碳材料。

6.根据权利要求2的汽化单元，其中，供给导管包含陶瓷材料。

7.一种物理气相沉积系统，包括：

用于存储液体形式的原液体材料的加压瓶子；

用于向加压瓶子供给背压的压力源；

与加压瓶子流体耦接的导管部分；

选择性地允许原液体材料流过导管部分的至少一个阀；和

与第一导管耦接并且用于接收从加压瓶子流动的目标材料的容器。

8.根据权利要求7的物理气相沉积系统，其中，压力源是气体源。

9.根据权利要求7的物理气相沉积系统，还包括物理气相沉积真空室。

10.根据权利要求7的物理气相沉积系统，其中，原液体材料包含：

疏油成分；和

稀释剂。

11.根据权利要求9的物理气相沉积系统，其中，加压瓶子被存放于冰箱环境中。

12.根据权利要求9的物理气相沉积系统，其中，至少一个阀与液体供给系统流体耦接，该液体供给系统包含：

第二导管部分，其中，第一端与至少一个阀流体耦接；和

第二阀，其第一侧与第二导管部分的第二端耦接，并且，其第二侧与供给导管流体耦接。

13.根据权利要求9的物理气相沉积系统，其中，至少一个阀与液体供给系统流体耦接，该液体供给系统包含：

与加压瓶子和至少一个供给注射器流体耦接的至少一个微注射器；和

与至少一个微注射器和汽化单元流体耦接的至少一个供给注射器。

14.根据权利要求13的物理气相沉积系统，其中，气体源用于向至少一个微注射器和至少一个供给注射器提供压力。

15.根据权利要求9的物理气相沉积系统，其中，物理气相沉积系统是批量液体物理气相沉积系统。

16.根据权利要求9的物理气相沉积系统，其中，物理气相沉积系统是内联液体物理气相沉积系统。

17.根据权利要求9的物理气相沉积系统，还包括用于确定物理气相沉积系统是批量液体物理沉积系统还是内联液体物理气相沉积系统的逻辑元件。

18.根据权利要求9的物理气相沉积系统，其中，物理气相沉积系统是批量液体物理沉积系统还是内联液体物理气相沉积系统是事先已知的。

19.一种在部件的表面上沉积涂层的方法，包括：

将至少一个部件放在真空室内，其中，至少一个部件中的每一个的表面被露出；

选择特定的量的原液体材料，其中，特定的量是基于放在真空室内的至少一个部件的数量被选择的；

将一剂原液体材料注入位于真空室内的汽化单元中；和

加热汽化单元以汽化原液体材料，其中，汽化的原液体材料的成分沉积于至少一个部件的表面上。

20.根据权利要求19的方法，其中，在将一剂原液体材料注入汽化单元中之前，真空室保持在第一最佳压力下。

21.根据权利要求20的方法，其中，该方法还包括在将一剂原液体材料注入汽化单元中之后并在加热汽化单元以汽化原液体材料之前将真空室内的压力降低到第二最佳水平。

22.根据权利要求19的方法，还包括：

在加压瓶子为空时更换该加压瓶子；和

通过空气口使系统排气。