[发明专利]蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀颗粒射出装置和具备该蒸镀颗粒射出装置作为蒸镀源的蒸镀装置。

背景技术

近年，在各种各样的商品、领域中使用平板显示器，对平板显示器的进一步大型化、高画质化、低耗电化提出了要求。

在这样的状况下，具备利用有机材料的电场发光(电致发光，以下记作“EL”)的有机EL元件的有机EL显示装置，是全固体型的，作为具有低电压驱动、高速响应性、自发光性等优点的平板显示器，受到高度关注。

有机EL显示装置具有例如在设置有TFT(薄膜晶体管)的由玻璃基板等形成的基板上，设置有与TFT连接的有机EL元件的结构。

有机EL元件是能够利用低电压直流驱动以高亮度进行发光的发光元件，具有第一电极、有机EL层和第二电极依次层叠的结构。其中第一电极与TFT连接。

另外，第一电极和第二电极之间，作为上述有机EL层，设置有将空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层、发光层、空穴阻挡层、电子输送层、电子注入层等叠层而成的有机层。

全彩色的有机EL显示装置中，一般为将红(R)、绿(G)、蓝(B)各色的有机EL元件作为子像素在基板上排列形成，使用TFT，使这些有机EL元件有选择地以期望的亮度发光，由此进行图像显示。

这样的有机EL显示装置的发光部的有机EL元件，一般由有机膜的层叠蒸镀形成。有机EL显示装置的制造中，至少由发出各色光的有机发光材料构成的发光层，按照每个作为发光元件的有机EL元件以规定的图案成膜。

通过层叠蒸镀进行规定图案的成膜时，例如除了使用被称为荫罩的掩模的蒸镀法之外，还可以适用喷墨法、激光转印法等。其中，现在最常使用的是利用被称为荫罩的掩模的真空蒸镀法。

在使用被称为荫罩的掩模的真空蒸镀法中，在能够将内部保持为减压状态的真空腔室内，配置使蒸镀材料蒸发或升华的蒸镀源，例如在高真空下对蒸镀材料进行加热而使蒸镀材料蒸发或升华。

在这样的真空蒸镀法中，作为蒸镀源，使用在被称为坩埚的加热容器内收纳蒸镀材料的蒸镀颗粒射出装置(例如专利文献1)。

图15是示意性地表示专利文献1记载的蒸镀装置中具备的蒸镀颗粒射出装置的图。此外，图15是为了容易地将专利文献1的图7与本发明的附图中的图1等进行对比而记载的图。

如图15所示，蒸镀颗粒射出装置作为蒸镀源具备：呈线状设置有多个用于射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀颗粒射出部；和对该蒸镀颗粒射出部供给所产生的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部。

上述蒸镀颗粒产生部利用加热器对蒸镀材料进行加热，从而产生气体状的蒸镀颗粒。

在上述蒸镀颗粒产生部中产生的蒸镀颗粒，被从蒸镀颗粒射出部的端部A导向端部B，从喷嘴射出到外部。

此时，使蒸镀颗粒经过仅期望的区域开口的蒸镀掩模的开口部(未图示)蒸镀在被成膜基板上而堆叠，由此能够在被成膜基板上的期望的区域形成蒸镀膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国公开特许公报“特开2010-13731号公报(2010年1月21日公开)”

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，在上述蒸镀颗粒产生部中，如专利文献1所述，蒸镀材料的加热通过设置于保持件的外周面的加热器来进行，该保持件覆盖容纳蒸镀材料的坩埚的外周。在此，对从加热器向蒸镀材料传递热的方式进行说明。此外，为了便于说明，参照本发明的说明书附图的图2进行说明。

收纳在保持件111中的坩埚113内的蒸镀材料114，被设置于保持件111的外周的加热器112加热，因此热从坩埚113的内壁向蒸镀材料114传递。未接触坩埚113的内壁的蒸镀材料114，通过材料自身的热传导而被加热。

因而，材料的升温依赖于材料的热传导率，一般有机材料的热传导率低，所以需要一定的时间才能够实现均匀的温度上升。另一方面，在降温时，为了防止因急剧的冷却而造成容纳坩埚113的保持件111变形、蒸镀材料114发生暴沸，需要逐渐冷却。

根据以上情况，图15所示的蒸镀颗粒产生部的蒸镀速率的时间曲线，如图16的曲线图所示。

坩埚113和保持件111，能够容易地被加热器112加热，但是仅与内壁接触的蒸镀材料114被直接加热，未与内壁接触的部分通过材料自身的热传导被加热。另外，虽然也被坩埚113、保持件111的热辐射加热，但是不足以在短时间内对蒸镀材料114整体进行加热。