[发明专利]定子元件以及高真空泵

权利要求书

1.一种用于高真空泵的定子元件，所述定子元件在输送方向（26）上设置在最后一个转子元件（18）下游，所述定子元件具有

能与所述高真空泵（10）的壳体（12）连接的壳体元件（28），以及

设置在所述壳体元件（28）的内侧（30）上的定子连接片（32）。

2.根据权利要求1所述的定子元件，其特征在于，所述定子连接片（32）在圆周方向上沿所述内侧（30）伸展并且优选具有总周长的至少六分之一、尤其至少五分之一并且特别优选至少四分之一但是优选小于二分之一、尤其小于三分之一的长度。

3.根据权利要求1或2所述的定子元件，其特征在于，所述定子连接片（32）具有大于待输送的气体微粒的平均自由程长度的径向深度（t），其中所述径向深度（t）尤其是待输送的气体的平均自由程长度的至少1.2倍、优选1.5倍并且特别优选2.5倍。

4.根据权利要求1至3之一所述的定子元件，其特征在于，所述定子连接片（32）具有至少10mm、优选至少15mm、并且特别优选至少20mm的径向深度（t），其中所述最大径向深度（t）小于40mm、优选小于30mm并且特别优选小于20mm。

5.根据权利要求1至4之一所述的定子元件，其特征在于，两个相邻的定子连接片（32）之间的通过高度（h）为所述叶片深度（t）的30%至60%、优选45%至55%。

6.根据权利要求1至5之一所述的定子元件，其特征在于，相邻的定子连接片（32）在圆周方向上以10%至70%、优选20%至70%并且特别优选30%至60%交叠。

7.根据权利要求1至6之一所述的定子元件，其特征在于，所有设置在相邻的定子连接片（32）之间的进入开口（40）位于相同的进口平面中。

8.根据权利要求1至7之一所述的定子元件，其特征在于，在圆周方向上设有至少四个、优选至少六个并且特别优选至少八个定子连接片（32）。

9.根据权利要求1至8之一所述的定子元件，其特征在于，设置在所述定子连接片（32）之间的进入开口（40）在圆周方向上具有总周长的至少10%至15%的开口宽度。

10.根据权利要求1至9之一所述的定子元件，其特征在于，所述定子连接片（32）的所述径向深度（t）径向地沿输送方向减小。

11.一种高真空泵、尤其涡轮分子泵，其具有：

具有多个转子元件（18）的转子（16）和根据权利要求1至10之一所述的、在输送方向（26）上设置在最后一个转子元件（18）下游的定子元件。

12.根据权利要求11所述的高真空泵，其特征在于，所述定子元件、尤其所述定子连接片（32）直接地邻接到所述最后一个转子元件（18）上。

13.根据权利要求11或12所述的高真空泵，其特征在于，所述高真空泵将在输送方向（26）上的最后一个转子元件（18）与圆柱形的转子毂（38）连接，所述转子毂由所述定子元件尤其所述定子连接片（32）包围。