[发明专利]热风循环炉

说明书

技术领域

本发明涉及一种热风循环炉，并涉及在陶瓷原材料的烧成及玻璃基板的热处理等各种热处理中使用的热风循环炉，其中，所述陶瓷原材料的烧成用于陶瓷电介质、陶瓷过滤器的陶瓷压电基板等陶瓷电子元器件的制造。

背景技术

作为本发明背景的现有的热风循环炉，具有如下热风循环炉，其特征是，在炉主体的炉室内包括供气体循环的循环通路，在循环通路的中途包括加热室、作为热源的加热器和送风机，其中，上述加热室对在上下方向上以隔着间隔的状态层叠多个的被处理物进行收容，以靠近加热室的出口的方式设置送风机，以使送风机的吸入口面向加热室的出口(例如，参照专利文献1)。此外，在上述现有的热风循环炉中，在循环通路内的加热器与加热室的入口之间设置有作为对流入加热室的气体的温度进行控制的温度补偿热源的温度补偿加热器。在这种情况下，温度补偿加热器为以尽可能不阻碍气体流动的方式沿着循环通路的内部扩展的扁平的加热器。

在上述现有的热风循环炉中，从送风机送出的气体经过循环通路，并经由加热器、加热室返回送风机，但送风机位于加热室的出口附近，其排出口在路径上远离加热室的入口，因此，在送风机的排出口附近产生的气流的紊乱在经过循环通路及加热器时受到阻力而成为稳定的流动，从而对在加热室内收容多个的被处理物吹出各部分均匀流速的气体。因此，事先防止烧成等热处理的偏差。

此外，在上述现有的热风循环炉中，如上所述，不仅以各部分均匀的流速对加热室内的多个被处理物吹出气体，而且利用温度补偿加热器消除由流通部位不同而产生的气体的温度不同，因此，上述气体的温度的各部分也变得均匀。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2003－322476号公报(图1、图7)

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，作为在使用热风循环炉的热处理中的重要的工序管理中的一个，具有温度分布的设定。也就是说，需要对加热室内的被处理物的热处理温度进行适当设定来作为温度设定，即便说上述温度分布的设定决定了热处理后的被处理物的品质的好坏也不为过。

但是，在上述现有的热风循环炉中，通过如上所述构成，虽然对被处理物吹出各部分均匀流速的气体，并利用温度补偿加热器一定程度地补正了由流通部位不同而产生的气体的温度不同，也可使气体的温度各部分都均匀，但是，由于没有构筑对加热室内整体的被处理物进行热处理温度控制的控制方法，因此，因加热室内堆积的被处理物的高度方向的热处理温度偏差而在热处理中产生偏差，可能导致热处理降低等，成为仍具有问题的热风循环炉。

此外，作为一般的热风循环炉的温度控制方法，多数情况下对炉室内的中央或热源附近进行控制，而不会进行把握到加热室的外周部的实际温度这种程度的温度控制。因此，存在在加热室内的堆积的被处理物的高度方向上形成温度较低的区域的情况，无法对被处理物施加足够的热量，而使被处理物的品质降低。

即，在包括上述一般的热风循环炉在内的现有的热风循环炉中，不会对被处理物的热处理温度进行基于上述温度分布的温度控制。

因此，本发明的主要目的在于提供一种能降低热处理温度的偏差，并能进行基于所设定的温度分布的温度控制的热风循环炉。

解决技术问题所采用的技术方案

技术方案1的本发明包括：

循环通路，该循环通路用于使炉室内的气体沿一个方向循环；以及在循环通路的中途设置的使气体循环的送风机、对气体进行加热的热源及对被热处理物进行收容的热处理室，热处理室内的被热处理物设置成能以位于热处理室中央的轴为中心水平旋转，在热处理室的一侧部设置有气体的入口，在另一侧部设置有气体的出口，气体从热处理室的入口朝向出口沿一个方向流通，送风机与热处理室的出口靠近地设置，以使送风机的吸入口与热处理室的出口直线地相对，其特征是在热处理室的出口设置有循环的气体的温度检测部。

技术方案1的本发明由于具有上述结构，因此，从送风机送出的气体的全部量便经由单一的循环通路沿一个方向循环而返回送风机，但由于送风机位于热处理室的出口附近，其排出口在路径上远离热处理室的入口，因此，在送风机的排出口附近产生的气流的紊乱在经过循环通路及热源时，受到阻力而成为稳定的均匀的流动，从而对热处理室内的被热处理物吹出。此外，由于热处理室内的被热处理物能以位于热处理室中央的轴为中心水平旋转，因此，在热处理室内经过的气体为水平的流动。因此，能事先防止烧成等热处理的偏差。