[发明专利]陶瓷压力测量单元

权利要求书

1.一种压力测量单元（1；11；21；41；61；91），包括：

至少一个陶瓷测量膜主体（2；12；22；42；62；92），其中，所述测量膜主体（2；12；22；42；62；92）具有可压力相关变形的测量膜；和

至少一个陶瓷平台（3；13；23；43；63；93），其中，所述测量膜主体（2；12；22；42；62；92）沿环状、外围接合部（3；13；23；43；63；93）与所述平台连接，其特征在于，

所述接合部形成为在所述测量膜主体（2；12；22；42；62；92）和所述平台（3；13；23；43；63；93）之间的焊接连接。

2.根据权利要求1所述的压力测量单元，其中，所述测量膜主体（2；12；22；42；62；92）和/或所述平台（3；13；23；43；63；93）包括氧化铝（Al₂O₃）。

3.根据权利要求1或2所述的压力测量单元（21；41；61；91），其中，所述平台（23；43；63；93）包括环状膜支撑（23a；43a；63a；93a；93d），所述测量膜主体（22；42；62；92a；92b）通过所述外围接合部固定至所述环状膜支撑。

4.根据权利要求3所述的压力测量单元（21；41；61；91），其中，所述压力测量单元还包括中心换能器支撑（23b；43b；63b；93b；93e），所述中心换能器支撑至少部分地被所述膜支撑（23a；43a；63a；93a；93d）围绕。

5.根据权利要求4所述的压力测量单元（21；41；61；91），其中，所述换能器支撑（23b；43b；63b；93b；93e）的端面包括至少一个电极，所述电极面对所述测量膜主体，其中，所述测量膜主体包括电极，所述电极面对所述换能器支撑（23b；43b；63b；93b；93e）。

6.根据权利要求4或5所述的压力测量单元（21；41；61；91），其中，沿至少第二接合部，连接、尤其是压力密封地连接所述换能器支撑与所述膜支撑（23a；43a；63a；93a；93d），其中，所述第二接合部通过玻璃焊料或活性硬焊料，或铜焊料，或者通过焊接形成。

7.根据上述权利要求中的任一项所述的压力测量单元（1；11；21；41；61；91），其中，可通过包括激光焊接或电子束焊接的一种方法产生所述压力测量单元。

8.根据权利要求7所述的压力测量单元（1；11；21；41；61；91），其中，所述方法包括预先加热所述焊缝附近，尤其是通过第二激光器预先加热所述焊缝附近。

9.根据权利要求3或从属于权利要求3的权利要求所述的压力测量单元，其中，所述膜支撑的内部侧表面具有传导涂层，所述传导涂层与面对所述膜支撑的所述测量膜的表面上的电极一起，形成朝着所述测量膜和所述侧表面封闭的法拉第笼。

10.根据上述权利要求中的任一项所述的压力测量单元，其中，所述压力测量单元包括用于密封环的承载表面，其中，在所述测量膜主体和所述平台之间形成所述接合部的平面上的所述承载表面的轴向投影围绕所述接合部。

11.根据上述权利要求中的任一项所述的压力测量单元，其中，所述压力测量单元包括第一平面中的用于密封环的承载表面，其中，所述第一平面与第二平面轴向隔开，在所述第二平面中，所述测量膜的外部端面延伸，并且实际上延伸所述测量膜主体的的至少八分之一直径，尤其是至少四分之一直径，优选至少一半直径，并且尤其优选至少整个直径。

12.根据上述权利要求中的任一项所述的压力测量单元，其中，所述压力测量单元是绝对压力、相对压力或压差测量单元。

13.一种压力传感器（60），所述压力传感器包括根据上述权利要求中的任一项所述的压力测量单元（61）和外壳（70），其中，所述压力测量单元（61）被所述外壳（70）保持，并且其中，所述压力测量单元（61）封闭外壳开口（71），所述压力测量单元通过所述外壳开口与所述外壳（70）的环境连通，其中，密封件（73）被夹在围绕所述外壳（70）的所述开口（71）的密封表面（72）和所述压力测量单元（61）的密封表面（64）之间。