[发明专利]带光学多层膜的玻璃构件和近红外线截止滤光片玻璃

说明书

技术领域

本发明涉及用于数字静态照相机、摄像机等的作为CCD及CMOS等固体摄像元件的视感度校正滤光片使用的带光学多层膜的玻璃构件。

背景技术

数字静态照相机及摄像机中所使用的CCD及CMOS等固体摄像元件的光谱灵敏度具有与人类的视感度特性相比对近红外区域的光有较强的灵敏度的特点。于是，通常使用可使这些固体摄像元件的光谱灵敏度与人类的视感度特性相一致的视感度校正滤光片。

作为这种视感度校正滤光片，专利文献1中公开了使氟磷酸盐玻璃及磷酸盐玻璃等玻璃中存在Cu²⁺离子，对光谱特性进行了调整的近红外线截止滤光片玻璃(参照专利文献1)。

此外，已知具有下述特性的近红外线截止滤光片：为了正确地确定透射的波长区域，且使其变锐(日文：シャープ)，在如上所述的近红外线截止滤光片玻璃的表面设置将多个高折射率层和低折射率层交替层叠而得的光学多层膜，具有使可见光区域的波长(400～600nm)高效地透过、且使近红外区域的波长(700nm)的锐截止性(日文：シャープカット性)优异的特性(参照专利文献2)。另外，为了抑制玻璃基板表面的反射、提高透射率，有时也在近红外线截止滤光片玻璃的表面设置防反射膜。

对于上述光学多层膜，为近红外线截止滤光片的情况下，是将例如由二氧化钛、氧化钽、氧化铌等构成的高折射率层、和由二氧化硅等构成的低折射率层在玻璃基板上交替层叠而得的，所以通过适当地设定高折射率层及低折射率层的厚度及层数，可利用光的干涉而选择地透过光。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平06-16451号公报

专利文献2:日本专利特开平02-213803号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

对于近红外线截止滤光片玻璃中所用的光学多层膜，为了提高在玻璃构件的运送及安装时的与其他构件的接触等的制造工序中的耐损伤性，要求更高的硬度。此外，人们期望由长期保存时的湿度等引起的光谱特性变化少、即所谓的无漂移膜(日文：ノンシフト膜)。而且，作为这些具备高硬度、高耐候性的光学多层膜的形成方法，已知采用溅射法及离子辅助蒸镀法(Ion-beam Assisted Deposition:IAD，使用离子辅助的蒸镀法)的成膜方法。

但是，在对于氟磷酸盐玻璃的玻璃基板面使用溅射法或离子辅助蒸镀法的成膜方法而形成光学多层膜的情况下，存在玻璃基板和光学多层膜的密合性不充分，在将玻璃基板切割成小片时容易发生膜剥离等的问题。

作为其理由，可例举以下几点。

可认为是由于在氟磷酸盐玻璃的玻璃组成中含有氟成分，在玻璃表面存在表面自由能低的氟，所以与其他物质的密合性差。

另一方面，由于通过溅射法或离子辅助蒸镀法形成的光学多层膜的膜物质具有非常致密的结构，所以具有膜的硬度高的特点。

可以认为，在上述那样的光学多层膜的密合性差的玻璃基板的表面形成了硬度高的光学多层膜的情况下，由于在光学多层膜被切割的瞬间的冲击，玻璃基板和光学多层膜的接触状态变弱，由此发生光学多层膜从玻璃基板剥离的现象。

本发明是鉴于上述技术问题而完成的发明，其目的在于提供光学多层膜的膜剥离得到抑制的带光学多层膜的玻璃构件、及近红外线截止滤光片玻璃。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明为带光学多层膜的玻璃构件，它是在氟磷酸盐玻璃基板上形成有光学多层膜的带光学多层膜的玻璃构件，其中，在上述氟磷酸盐玻璃基板和上述光学多层膜之间形成有使上述光学多层膜对上述氟磷酸盐玻璃基板的密合性提高的、由1层或2层以上构成的密合强化膜；上述光学多层膜通过溅射法或离子辅助蒸镀法形成，上述密合强化膜通过不采用离子辅助的蒸镀法形成(以下，有时也称为本发明的带光学多层膜的玻璃构件)。

此外，提供下述带光学多层膜的玻璃构件：本发明的带光学多层膜的玻璃构件中，上述密合强化层在上述氟磷酸盐玻璃基板侧的第一层具备氧化物膜，该氧化物膜由选自二氧化硅(SiO₂)、二氧化钛(TiO₂)、钛酸镧盐(La₂Ti₂O₇)、氧化铝(Al₂O₃)、及氧化铝(Al₂O₃)和氧化锆(ZrO₂)的混合物中的任一种材料构成。