[发明专利]等离子体发生装置以及使用了该等离子体发生装置的清洗净化装置

权利要求书

1.一种等离子体发生装置，其特征在于，具备：

液体容纳部，其容纳含水的液体；

气体容纳部，其容纳气体；

隔离壁部，其将上述液体容纳部与上述气体容纳部隔开，具有用于将上述气体容纳部的气体引导到上述液体容纳部的气体通路；

第一电极，其被配置于上述气体容纳部；

第二电极，其被配置成与上述液体容纳部的液体相接触；

气体供给部，其以经由上述气体通路向上述液体容纳部加压输送上述气体容纳部的气体的方式，来向上述气体容纳部供给含氧的气体；

等离子体电源部，其在上述第一电极与上述第二电极之间施加规定的电压来使上述第一电极与上述第二电极之间产生放电，由此使加压输送到上述液体容纳部的液体内的气体等离子体化；以及

液体流入防止装置，其防止上述液体经由上述气体通路从上述液体容纳部流入到上述气体容纳部。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述液体流入防止装置具备控制部，该控制部对从上述气体供给部向上述气体容纳部内供给的气体的压力进行控制，以使上述气体通路的压力比上述液体容纳部的压力高。

3.根据权利要求2所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述液体流入防止装置还具备液体检测器，该液体检测器检测上述液体容纳部中是否存在上述液体。

4.根据权利要求2或3所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述控制部仅在上述液体容纳部中存在上述液体的情况下，进行控制以使上述气体供给部进行动作。

5.根据权利要求2所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述液体流入防止装置还具备盖检测器，该盖检测器检测开闭自如地安装于上述液体容纳部的盖的开闭状态，

上述控制部获得来自上述盖检测器的盖开状态检测信号来进行控制以使上述气体供给部进行动作。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述液体流入防止装置是至少上述气体通路由具有防水性和透气性的多孔质体形成而构成的。

7.根据权利要求1～5中的任一项所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述液体流入防止装置是至少上述气体通路为疏水性体。

8.根据权利要求1～5中的任一项所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述液体流入防止装置是至少形成于上述气体通路的内面的疏水性涂层。

9.根据权利要求1～5中的任一项所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述液体流入防止装置是设置于上述气体通路来防止上述液体从上述液体容纳部流入到上述气体容纳部的止回阀。

10.一种清洗净化装置，其特征在于，具备根据权利要求1～9中的任一项所述的等离子体发生装置。