[发明专利]激光束辐照度控制系统无效

专利信息
申请号: 201280011216.7 申请日: 2012-01-16
公开(公告)号: CN103534631A 公开(公告)日: 2014-01-22
发明(设计)人: J·R·库珀;S·A·雷泽;W·M·多尔蒂 申请(专利权)人: 应用精密公司
主分类号: G02B26/02 分类号: G02B26/02;G02B6/26
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 徐予红;汤春龙
地址: 美国华*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 激光束 辐照 控制系统
【权利要求书】:

1.一种控制光线辐照度的系统,所述系统包括:

以基本垂直于光束传播方向,以需要的位移平移光束的光束平移器;以及

位于平移的光束的路径上的光束发射器,所述发射器接收平移的光束,并基于光束平移的量,衰减光束。

2.如权利要求1所述的系统,进一步包括:

与光束平移器电连接的反馈控制;以及

位于衰减的光束的路径上的分束器,所述分束器反射衰减的光束的第一部分到反馈控制,并传送更大的第二部分,其中反馈控制测量第一部分的辐照度,并基于所述第一部分的辐照度,引导平移器,来将光束以需要的位移平移。

3.如权利要求1所述的系统,其中光束平移器包括:

扫描反射镜;以及

至少两个固定反射镜,其中反射镜定位成当光束最初射到所述扫描反射镜上时,光束被固定反射镜反射,并且第二次反射离开扫描反射镜,出现在基本平行的路径的连续体的之一上。

4.如权利要求1或3所述的系统,其中光束经历四次反射后,以需要的位移从平移器输出。

5.如权利要求1所述的系统,其中光束平移器包括附接到电动机的反射镜,其中反射镜位于光束的路径上,并且调整角度来以非零反射角反射光束,并且所述电动机平移所述反射镜,使得光束被反射到基本平行的路径的连续体的之一上。

6.如权利要求1所述的系统,其中光束平移器包括附接到所述电动机的透明平板,其中透明平板位于光束的路径上,并且所述电动机旋转平板,使得光束折射并出现在基本平行的路径的连续体的之一上。

7.如权利要求1所述的系统,其中光束发射器包括:

具有孔径的平板;

单模光纤;以及

设置在所述平板和光纤平头端之间的聚焦透镜,其中光纤和透镜的光轴对准,并且孔径的中心沿着光轴定位,并且其中光纤的平头端与透镜分隔开,使得光纤接受光锥区的横截面尺寸近似等于孔径的大小。

8.如权利要求1所述的系统,其中光束发射器包括:

具有孔径的第一平板;

具有衍射限制针孔孔径或空间滤光器的第二平板;以及

设置在第一平板和第二平板之间的聚焦透镜,其中孔径中心沿着透镜的光轴定位。

9.如权利要求1所述的系统,其中光束平移器在小于一毫秒内以需要的位移平移光束。

10.一种荧光显微仪器,包括:

发出激发光束的光源;

以基本垂直于光束传播方向,以需要的位移平移光束的光束平移器;以及

位于平移的光束的路径上的光束发射器,所述发射器接收平移的光束,并基于光束平移的量,衰减光束;以及

物镜,用于接收衰减的光束,并将衰减的光束聚焦到样品的焦平面内的焦点。

11.如权利要求10所述的仪器,进一步包括:

与光束平移器电连接的反馈控制;以及

位于衰减的光束路径上的分束器,所述分束器反射衰减的光束的第一部分到反馈控制,并传送更大的第二部分,其中反馈控制测量第一部分的辐照度,并基于第一部分的辐照度,引导平移器,将光束以需要的位移平移。

12.如权利要求10所述的仪器,其中光束平移器包括:

扫描反射镜;以及

至少两个固定反射镜,其中反射镜定位成当光束最初射到扫描反射镜上时,光束被固定反射镜反射,并且第二次反射离开扫描反射镜,出现在基本平行的路径的连续体的之一上。

13.如权利要求10或12所述的仪器,其中光束经历四次反射后,以需要的位移从平移器输出。

14.如权利要求10所述的仪器,其中光束平移器包括附接到电动机的反射镜,其中反射镜位于光束的路径上,并且调整角度来以非零反射角反射光束,并且电动机平移反射镜,使得光束反射到基本平行的路径的连续体的之一上。

15.如权利要求10所述的仪器,其中光束平移器包括附接到电动机的透明平板,其中透明平板位于光束的路径上,并且电动机旋转平板,使得光束折射并且出现在基本平行的路径的连续体的之一上。

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