[发明专利]真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用磁耦合来传递驱动力的真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法。

背景技术

机械增压泵为变容积式真空泵，即，通过使配置在壳体内的两个茧型转子均沿着相反方向同步转动来将气体由进气口向排气口进行输送。在机械增压泵中，由于两转子之间以及各转子和壳体之间不接触，因而造成的机械性损伤非常少，例如，与像油回转真空泵这样的摩擦动作较大的真空泵相比，该机械增压泵具有能够减少驱动所需能量的优点。

在机械增压泵中，由于用于收装两个转子的泵室内不需要润滑油，因而由润滑油所造成的真空污染较少。另外，在泵运转时，为了始终准确地维持两转子的转动相位和各转子的轴的中心，需要对用于使各转子同步转动的齿轮和用于支承各转子的转轴的轴承等进行润滑。因此，预先在用于收装上述齿轮的齿轮室中存积润滑油，在泵运转时对各部进行润滑。

但是，排气口处压力的上升可能会使空气由壳体向收装马达的马达室泄露，或者产生轴封漏油的现象。这样的问题在泵驱动初期，尤其是在对真空腔进行排气，使其由大气压变成真空时容易产生。因此，人们提出了如下一种真空泵：对壳体内部和马达室之间进行划分，使马达和转子通过磁耦合连接，从而确保壳体内部和马达室之间的气密性（例如参照下述专利文献1）。

【专利文献1】日本发明专利公开公报特开平6-185483号

但是，在具有磁耦合结构的机械增压泵中，当负载扭矩过大时，则会产生马达和转子之间的磁性连接状态被解除的现象（失调）。当发生失调时，由于不能进行正常的泵动作，因而需要使泵动作暂时停止，之后再对泵进行重新启动。因此，当反复发生失调时，对被排气系统（排气对象）的排气操作需要花费很长时间。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供一种不会发生失调、能够实现稳定的排气动作的真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法。

为了达成上述目的，本发明的一个技术方案所涉及的真空泵具有：泵体部、驱动部、磁耦合机构、控制器。

上述泵体部具有：泵室，其具有进气口和排气口；转子，其配置在上述泵室中，用来将气体从上述进气口向上述排气口进行输送。

上述驱动部具有：马达室，其邻接上述泵室；驱动马达，其配置在上述泵室中，用来驱动上述转子转动。

上述磁耦合机构具有分隔部件、第1磁体、第2磁体。上述分隔部件用于划分上述泵室和上述马达室且使两者保持气密性。上述第1磁体安装在上述转子上。上述第2磁体安装在上述驱动马达上，通过上述分隔部件与上述第1磁体磁性连接。上述磁耦合机构以第1阈值以下的转动扭矩向上述转子传递上述驱动马达的转动力。

上述控制器具有检测部、转动控制部。上述检测部用于检测上述驱动马达的负载扭矩。上述转动控制部用于控制上述驱动马达的转速。当上述负载扭矩为比上述第1阈值小的第2阈值以下时，上述控制器使上述驱动马达的转速增大，当上述负载扭矩超过上述第2阈值且为上述第1阈值以下时，上述控制器使上述驱动马达的转速减小。

本发明的一个技术方案所涉及的真空排气装置具有第1真空泵、第2真空泵、控制器。

上述第1真空泵具有泵室、转子、驱动马达、磁耦合机构。上述泵室具有进气口和排气口。上述转子配置在上述泵室内，用于将气体由上述进气口向上述排气口进行输送。上述磁耦合机构以第1阈值以下的转动扭矩向上述转子传递上述驱动马达的转动力。

上述第2真空泵用于排出输送到上述排气口中的气体。

上述控制器具有检测部和转动控制部。上述检测部用于检测上述驱动马达的负载扭矩。上述转动控制部用于控制上述驱动马达的转速。当上述负载扭矩为比上述第1阈值小的第2阈值以下时，上述控制器使上述驱动马达的转速增大，当上述负载扭矩超过上述第2阈值且为上述第1阈值以下时，上述控制器使上述驱动马达的转速减小。

本发明的一个技术方案所涉及的真空泵的运转控制方法为：真空泵具有：转子；驱动马达；磁耦合机构，其以第1阈值以下的转动扭矩向上述转子传递上述驱动马达的转动力。

上述运转控制方法包括：检测上述马达的负载扭矩，

当上述负载扭矩为比上述第1阈值小的第2阈值以下时，使上述驱动马达的转速增大。

当上述负载扭矩超过上述第2阈值且为上述第1阈值以下时，使上述驱动马达的转速减小。

附图说明

图1为表示本发明的一个实施方式所涉及的真空排气装置的示意结构图。

图2为表示本发明的一个实施方式所涉及的真空泵的示意剖视图。