[发明专利]板状体的研磨方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种板状体的研磨方法。

背景技术

板状体、尤其是应用于液晶显示器的玻璃板中，其表面的微小的凹凸、波纹是导致图像产生失真的原因，因此通过研磨装置去除该微小的凹凸、波纹。作为这种研磨装置，下述研磨装置普遍为世人所知：在将夹具上保持的玻璃板推抵到在研磨平台上设置的研磨垫上的同时，使研磨平台及夹具相对旋转来研磨玻璃板。

专利文献1公开的研磨装置在夹具的下部设置可挠性膜体，并且向膜体和夹具之间供给加压气体，通过该加压气体的压力，将膜体上粘贴的玻璃板推压到研磨布上研磨。根据该研磨装置，通过膜体和夹具之间的空间中存在的加压气体，施加到玻璃板各部分的压力成为均匀的压力，因此具有在平坦地研磨玻璃板的同时可去除玻璃板表面的微小凹凸的优点。

并且，专利文献1的研磨装置向研磨平台供给浆液(研磨液)，使该浆液从研磨垫的表面渗出而研磨玻璃板。专利文献1中公开了带槽的研磨垫，在该研磨垫的表面，以5至10mm的间距沿着一个方向形成宽2至6mm、深1至5mm的多个槽。通过该研磨垫，可将研磨中使用的浆液经由上述槽排出到研磨垫的外部，因此具有研磨垫不易产生堵塞、研磨力稳定的优点。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2004-122351号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1的研磨装置中存在以下问题：研磨垫的槽转印到研磨后的玻璃板的研磨面上，产生条状花纹的研磨不均，并且该研磨不均为局部产生。

本发明鉴于这一情况，其目的在于提供一种板状体的研磨方法，可去除板状体表面的微小凹凸、波纹，并且可抑制因研磨垫的槽而产生的局部性研磨不均。

用于解决问题的手段

本发明为实现上述目的，提供一种板状体的研磨方法，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，所述板状体的研磨方法的特征在于，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。

根据本发明，通过公转动作可获得用于去除板状体的表面的凹凸的主要的力，因此可去除板状体的表面的微小凹凸、波纹。并且，通过自转动作可控制板状体的研磨面的质量。在自转动作中，以一定的角速度持续研磨时，在板状体上产生因研磨工具的槽而导致的局部性研磨不均。因此，本发明在板状体的研磨中，变更自转的角速度。这样一来，研磨工具的研磨模式改变，因此可抑制因研磨工具的槽而导致的局部性研磨不均。

本发明的研磨方法优选，具有如下工序：粘贴工序，在上述板状体的粘贴位置，将上述板状体的非研磨面粘贴到板状体粘贴部件上；板状体传送工序，通过保持部将上述板状体粘贴部件从上述粘贴位置传送到上述板状体的研磨位置，其中，上述保持部被安装成沿着配置在上述粘贴位置和上述研磨位置之间的引导部件移动自如，而在上述粘贴位置和上述研磨位置之间进行往返运动；研磨工序，在将上述板状体粘贴部件安装到位于上述研磨位置的上述板状体保持部件上后，通过上述研磨工具研磨粘贴在上述板状体粘贴部件上的上述板状体；板状体卸下工序，从上述板状体粘贴部件卸下上述板状体，并从上述板状体保持部件卸下该板状体粘贴部件，或者，从上述板状体保持部件卸下上述板状体粘贴部件，并从该板状体粘贴部件卸下上述板状体；以及送回工序，将卸下了上述板状体的上述板状体粘贴部件送回到上述粘贴位置，在上述研磨工序中，将上述板状体粘贴部件传送到了上述研磨位置的上述保持部被送回到上述粘贴位置。