[发明专利]带纵向和环形密封件的真空泵

权利要求书

1.一种多级真空泵，包括：

第一半壳定子部件和第二半壳定子部件，限定多个泵送腔室并且用于沿着相应纵向延伸面组装在一起；

第一端部定子部件和第二端部定子部件，用于在所述第一半壳定子部件与第二半壳定子部件的相应纵向端面处组装；

纵向密封件，用于当在所述纵向延伸面处组装在一起时在所述第一半壳定子部件与第二半壳定子部件之间进行密封；以及

环形密封件，用于当组装时在所述第一和第二端部定子部件与第一和第二半壳定子部件之间进行密封；

其中所述纵向密封件具有邻接抵靠着所述环形密封件的端部以用于在所述环形密封件之间进行密封，并且所述第一半壳定子部件和第二半壳定子部件具有用于当所述端部压缩于第一半壳定子部件与第二半壳定子部件之间时抵抗所述端部远离所述环形密封件移动的构造。

2.根据权利要求1所述的多级真空泵，其中，所述半壳定子部件的彼此接合的纵向延伸面在它们之间形成用于定位所述纵向密封件的相应纵向通道，且其中由所述通道的扩大端部形成所述构造，所述构造配置成用于接纳所述纵向密封件的扩大端部。

3.根据权利要求1或2所述的多级真空泵，其中，所述纵向密封件和所述通道的所述扩大端部从其中部在横向向外呈锥形。

4.根据权利要求3所述的多级真空泵，其中，所述纵向密封件和所述通道的所述扩大端部从其中部在至少两个正交横向维度上向外呈锥形。

5.根据前述权利要求中任一项所述的多级真空泵，其中，当位于所述通道中时，所述纵向密封件的所述端部延伸成从所述半壳部件的相应端面隆起以用于邻接抵靠着所述环形密封件。

6.根据前述权利要求中任一项所述的多级真空泵，其中，所述纵向密封件的所述端部配置成使得当在组装期间受压缩时，它们抵靠所述环形密封件变形以在它们之间延伸所述密封表面。

7.根据前述权利要求中任一项所述的多级真空泵，其中，所述纵向密封件的所述端部包括纵向突起，所述纵向突起之间具有凹部，所述凹部的形状与所述环形密封件的截面互补从而使得当组装时所述环形密封件位于所述凹部中并且所述密封表面在所述密封件之间延伸。

8.根据前述权利要求中任一项所述的多级真空泵，所述半壳定子部件的端面当组装在一起时形成用于定位所述环形密封件的环形通道，并且所述环形通道延伸穿过所述纵向通道的端部。

9.根据前述权利要求中任一项所述的多级真空泵，其中，所述纵向通道凹入于所述半壳的所述纵向延伸面内、并且所述纵向壁从所述凹部直立并且与所述纵向延伸面大体上齐平，其中所述纵向密封件装配于所述壁周围从而使得当压缩时所述壁防止所述纵向密封件远离所述环形密封件变形。

10.根据前述权利要求中任一项所述的多级真空泵，其中，所述纵向密封件和所述第一半壳定子部件和第二半壳定子部件的构造抵抗所述纵向密封件的密封表面远离相应环形密封件移动。

11.根据前述权利要求中任一项所述的多级真空泵，其中，当定位于所述第一半壳定子部件和第二半壳定子部件中时并且在压缩之前，在所述纵向密封件的构造与所述第一半壳部件和第二半壳部件的构造之间存在着间隙，在压缩期间所述纵向密封件能膨胀到所述间隙内。

12.根据前述权利要求中任一项所述的多级真空泵，其中，所述纵向密封件为衬垫，所述衬垫在两个维度具有更大伸展并且在第三维度具有更小伸展。