[发明专利]表面平坦化

说明书

技术领域

本发明一般地涉及初始非平坦表面的平坦化，例如，用于照明面板轨道的填充平坦化。

更具体地，本发明涉及用于平坦化基板的表面区域的方法，并且涉及包括表面区域、在所述表面区域的一部分上的主体以及在所述表面区域上的平坦化剂合成物的基板，并且更特别地涉及形成诸如有机发光二极管（OLED）、照明面板、显示器背光、集成电路及有机光伏（OPV）器件之类的电子器件的方法，这些方法包括平坦化的方法，并且还涉及包括基板的电子器件，例如，包括基板的OLED、包括多个OLED的照明面板、包括多个OLED的显示器背光、包括基板的集成电路（IC）以及包括基板的OPV。

另外，本发明还涉及用于平坦化基板的表面区域的方法，并且涉及包括具有基本上平坦的表面的表面区域的基板，并且更特别地涉及形成诸如OLED、照明面板、显示器背光、IC和OPV之类的电子器件的方法，这些方法包括平坦化的方法，并且还涉及电子器件，诸如例如，包括基板的OLED、包括多个OLED的照明面板、包括多个OLED的显示器背光、包括基板的IC以及包括基板的OPV。

背景技术

有机发光二极管（OLED）对于照明是特别有用的，因为它们能够相对较容易地且较廉价地制造，以覆盖各种基板上的大的区域。它们还是明亮的并且可以根据需要为彩色的（例如，红色、绿色和蓝色）或者为白色的。在本说明书中，对OLED的参考包括有机金属LED以及使用聚合物或小分子制造的OLED。在WO90/13148、WO95/06400和WO99/48160中描述了基于聚合物的OLED的示例；在US4,539,507中描述了所谓基于小分子的OLED的示例。

为了帮助理解本发明的实施例，对OLED器件的示例结构进行描述是很有帮助的。值得注意的是，当在反极性下操作时，OLED能够起着OPV的作用。因而参照图1a，该图示出了穿过包括玻璃基板12的OLED器件10（例如，显示器背光OLED、OLED照明砖或OLED照明面板）的一部分的垂直截面，在该玻璃基板12上沉积有金属（例如，铜轨道14）以提供第一电极连接，在所示的示例中为阳极连接。空穴注入层16被沉积于阳极电极轨道（tracking）上，例如，导电的透明聚合物，例如，PEDOT:PSS（聚苯乙烯磺酸掺杂聚乙烯二氧噻吩）。这随后是例如包含基于PPV（聚对苯乙炔）的材料的发光聚合物（LEP）叠层18。空穴注入层有助于使LEP叠层的空穴能级与阳极金属匹配。这随后是例如包含低功函数的金属（例如，钙或钡）的阴极叠层20（用于LEP叠层和阴极电子能级匹配），或者电子注入层（例如，氟化锂），在该阴极叠层20或电子注入层上沉积有例如铝或银的反射性背电极。

图1a的示例是其中光穿过透明基板（例如，玻璃或塑料）发射出的“底发射”器件。但是，同样可以制造出“顶发射”器件，其中器件的上电极基本上是透明的，例如由氧化铟锡（ITO）或阴极金属的薄层（例如，小于100nm的厚度）制造。现在参照图1b，该图示出了穿过基板12朝LEP叠层18观看的，即穿过器件的“底部”朝器件的发光面观看的图1a的OLED器件10的视图。该视图表明阳极电极轨道14在本示例中被配置为六边形栅格或网格，以便避免遮盖过多的由LEP叠层18发出的光。（阳极）电极轨道14连接至基本上完全环绕器件的周界铺设的、可选地具有一个或多个开口32的固体金属母线30，该一个或多个开口32可以由电导体桥接以便于与器件的阴极层的连接。

图1c示出了包括具有图1a和/或1b所示的结构的多个OLED10的照明面板100。

金属轨道线路（例如，阳极轨道14）被设置于OLED内以提高器件内的电极的电导率，并从而使电流能够分布于宽的区域内。但是，有源OLED层在非平坦表面之上的沉积可以导致层的厚度和/或轮廓变化，即，非平坦表面区域。这样的变化可以导致例如亮度不均匀、器件不稳定和/或器件内的短路。金属轨道的边缘可以导致这样的厚度和/或轮廓变化。因而，优选地在发光层及相关层（例如，电荷注入层）的处理之前对在包含OLED的照明面板内的金属轨道进行平坦化。

但是，基板平坦化领域不断提出对提供改进的平坦化技术的需要，该改进除其他外涉及表面平坦性、工艺复杂性、处理时间、加工/器件成本、穿过所平坦化的表面的光出射耦合、从轨道到与光发射关联的层（例如，空穴注入层或发光层）的电传导、照明器件的有源区的污染、对金属轨道的腐蚀、OLED空腔调谐等中的一个或多个。

为了用来理解本发明，参考下列公开内容：

-Proc.SPIE，Vol.7415，74150T（2009），Harkema等；