[发明专利]二氧化硅烟炱体的生产

权利要求书

1.一种通过在心轴上进行外部气相沉积从而制造合成玻璃质二氧化硅烟炱的中空圆柱形多孔体的方法，其特征在于，将心轴温度控制为在整个沉积过程中保持基本恒定。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在整个沉积过程中对心轴的一个或多个选定部分的温度进行监视。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述心轴的所述选定部分包括在沉积过程中在其上沉积烟炱的区域以及位于烟炱沉积物每个端部的区域。

4.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，在至少一个合成燃烧器的火焰中生产二氧化硅烟炱颗粒，其中在沉积过程中对通向所述燃烧器的二氧化硅前体材料和/或燃料气体的流量进行调节，以确保心轴温度在沉积区域的整个长度上保持基本恒定且均匀。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，通过一个或多个供应有燃烧气体但不供应二氧化硅前体的另外的燃烧器，在二氧化硅沉积区域的一个或两个端部和/或与其相邻的心轴的附近施加额外的热量。

6.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，通过电加热装置实现或促进对心轴温度的控制。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述心轴是中空的，所述电加热装置包括设置在心轴之内的一个或多个加热元件。

8.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，为所述心轴提供冷却装置。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述心轴是中空的，所述冷却通过进料到心轴内部的空气或其他冷却剂流体的流动提供。

10.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，将烟炱沉积物端部区域中的心轴温度保持在沉积开始时该区域温度的50℃以内。

11.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，将烟炱沉积物端部区域中的心轴温度保持在沉积开始时该区域温度的25℃以内。

12.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，将烟炱沉积物端部区域中的心轴温度保持在沉积开始时该区域温度的5℃以内。

13.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，将烟炱沉积物所覆盖的任何区域中的心轴温度保持在沉积开始时该区域温度的50℃以内。

14.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，将烟炱沉积物所覆盖的任何区域中的心轴温度保持在沉积开始时该区域温度的25℃以内。

15.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，将烟炱沉积物所覆盖的任何区域中的心轴温度保持在沉积开始时该区域温度的5℃以内。

16.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述心轴的外直径大于50mm。

17.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述心轴的外直径大于100mm。

18.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述心轴的外直径大于300mm。

19.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述二氧化硅烟炱颗粒在以无氯的二氧化硅前体进料的一个或多个合成燃烧器的火焰中生产。

20.如权利要求19所述的方法，其特征在于，所述前体是硅氧烷、硅烷或烷氧基硅烷。

21.如权利要求20所述的方法，其特征在于，所述前体包括聚甲基硅氧烷。

22.如权利要求21所述的方法，其特征在于，所述前体包括八甲基环四硅氧烷、十甲基环五硅氧烷或其混合物。

23.如权利要求20-22中任一项所述的方法，其特征在于，还向所述合成燃烧器供应挥发性无氯有机金属掺杂剂化合物进料。

24.如权利要求23所述的方法，其特征在于，所述掺杂剂是金属醇盐或螯合物。

25.如任意前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述心轴由金属构成。

26.如权利要求25所述的方法，其特征在于，所述心轴由中空金属管构成。

27.如权利要求26所述的方法，其特征在于，所述中空金属管包含绝热材料。