[发明专利]膜表面处理方法及装置

权利要求书

1.一种膜表面处理方法，其特征在于，是对以聚甲基丙烯酸甲酯作为主成分的树脂膜即“PMMA膜”的表面进行处理的膜表面处理方法；

所述膜表面处理方法包括：

第一接触工序，使将丙烯酸在载气中气化而成的第一反应气体与PMMA膜接触，

第一照射工序，在所述第一接触工序后或与所述第一接触工序并行地，对所述PMMA膜照射在大气压附近下生成的氩等离子体，

第二接触工序，在所述第一照射工序后使将丙烯酸在载气中气化而成的第二反应气体与所述PMMA膜接触，以及

第二照射工序，在所述第二接触工序后或与所述第二接触工序并行地，对所述PMMA膜照射在大气压附近下生成的氩等离子体。

2.一种膜表面处理装置，其特征在于，是对PMMA膜的表面进行处理的膜表面处理装置；

所述膜表面处理装置包括：

第一辊电极、第二辊电极、第三辊电极，所述第一辊电极、第二辊电极、第三辊电极被相互平行地排列且在相邻的辊电极之间的间隙中在大气压附近下产生放电，

第一反应气体喷嘴，所述第一反应气体喷嘴面向所述第一辊电极的圆周面吹出含有丙烯酸的第一反应气体，

第一放电气体喷嘴，所述第一放电气体喷嘴向所述第一辊电极与所述第二辊电极之间的间隙吹出氩气，

第二反应气体喷嘴，所述第二反应气体喷嘴面向所述第二辊电极的圆周面吹出含有丙烯酸的第二反应气体，以及

第二放电气体喷嘴，所述第二放电气体喷嘴向所述第二辊电极与所述第三辊电极之间的间隙吹出氩气；

其中，所述PMMA膜被挂绕于所述第一辊电极、第二辊电极、第三辊电极，并且利用所述第一辊电极、第二辊电极、第三辊电极的旋转将所述PMMA膜依照所述第一辊电极、所述第二辊电极、所述第三辊电极的顺序输送。