[发明专利]具有凹凸结构的基板的制造方法及使用该基板的有机EL元件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及在有机电致发光元件等的制造中使用的具有不规则的凹凸的基板的制造方法以及使用该基板的有机EL的制造方法。

背景技术

作为自发光型的显示元件，已知有有机电致发光元件(或者也称为有机发光二极管。以下，称为“有机EL元件”)。有机EL元件与液晶元件相比，辨认性高，不需要背光，因此能够实现轻量化。因此，作为下一代的显示元件，其研究开发正盛行。

在有机EL元件中，由空穴注入层进入的空穴及由电子注入层进入的电子分别被输送到发光层，它们在发光层内的有机分子上再次结合而激发有机分子，由此放出光。因此，将有机EL元件作为显示装置使用时，需要将来自发光层的光有效地从元件表面提取出。因此，在专利文献1等中已知在有机EL元件的光提取面上设置衍射光栅基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-236748

专利文献2：WO2011/007878A1

发明内容

发明所要解决的问题

本申请人在专利文献2中公开了将满足规定条件的嵌段共聚物溶解于溶剂中而得到的溶液涂布于基材上并使其干燥，形成嵌段共聚物的微相分离结构，由此得到形成有微细且不规则的凹凸图案的母模(金属基板)的方法。该方法中，使用嵌段共聚物的自组织化现象得到可用于纳米压印等的母模。在向得到的母模滴加有机硅类聚合物与固化剂的混合液并使其固化而得到转印图案之后，在该转印图案上按压涂布有固化性树脂的玻璃基板，利用紫外线使固化性树脂固化，由此制作复制有转印图案的衍射光栅。已确认通过在该衍射光栅上层叠透明电极、有机层及金属电极而得到的有机EL元件的发光效率充分高，具有充分高的外部提取效率，并且发光的波长依赖性及方向性充分低，而且电力效率充分高。

即使是使用如上所述的专利文献2中制造的衍射光栅的有机EL元件，在用作手机、电视画面等显示装置或照明装置时，优选从整个显示面以均匀的亮度照射光。因此，在有机EL元件完成后，需要确认来自有机EL元件的照射是均匀的、即亮度不均在容许范围内。但是，如果完成的有机EL元件的亮度不均被判定为在容许范围外，则有机EL元件成为缺陷品，如上所述在衍射光栅上层叠多层的工序将成为浪费。特别是透明电极、有机层及金属电极等的层叠是需要花费制造成本及劳力的工艺，强烈地期望减少这样的缺陷品从而提高成品率，削减材料及制造成本的浪费。

因此，本发明的目的在于提供能够以高产量生产具有不规则的凹凸表面的衍射光栅基板的有机EL元件的方法。此外，本发明的其它目的在于提供具备对作为光学部件使用的具有不规则凹凸表面的基板的亮度不均进行评价的工序的基板的制造方法。

用于解决问题的手段

根据本发明，提供一种具有不规则的凹凸表面的基板的制造方法，用于制造具有用于散射光的不规则的凹凸表面的基板，其中，包括如下步骤：

制作上述具有不规则的凹凸表面的基板；

从相对于该凹凸表面的法线方向倾斜的方向对上述制作的基板的凹凸表面照射检查光，并利用设置在上述凹凸表面的法线方向上的受光元件检测该检查光的从上述凹凸表面返回的光；以及

根据接收到的光强度判定上述凹凸表面的亮度不均。