[发明专利]位移传感器、位移检测装置以及操作设备有效
申请号: | 201280017462.3 | 申请日: | 2012-04-06 |
公开(公告)号: | CN103492832B | 公开(公告)日: | 2018-05-01 |
发明(设计)人: | 安藤正道;河村秀树 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;G01D5/14;G01L1/16;G01L3/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 舒艳君,李洋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 位移 传感器 检测 装置 以及 操作 设备 | ||
1.一种位移传感器,其特征在于,具备:
弹性体;和
平膜型压电元件,其安装于该弹性体的第一主面,并在压电片的两个主面上形成有电极,
所述压电片包含聚乳酸,且至少在单轴方向上延伸,并且由主面大致呈长方形的平膜构成,且所述单轴方向的延伸轴沿着与作为被检测方向的该平膜的长边方向成45°±10°的方向或者-45°±10°的方向取向,
所述弹性体的机械强度比所述压电片的机械强度高,避免变形的中性点在压电元件内。
2.根据权利要求1所述的位移传感器,其特征在于,
将安装于所述弹性体的所述第一主面的所述平膜型压电元件作为第一平膜型压电元件,
所述的位移传感器还具备第二平膜型压电元件,所述第二平膜型压电元件安装于与所述弹性体的所述第一主面对置的第二主面,并在压电片的两个主面上形成有电极,
该第二平膜型压电元件的压电片包含聚乳酸,且至少在单轴方向上延伸而形成。
3.根据权利要求2所述的位移传感器,其特征在于,
所述第一平膜型压电元件的压电片由主面大致呈长方形的平膜构成,且所述单轴方向的延伸轴沿着与该平膜的长边方向成45°±10°的方向或者-45°±10°的方向取向,
所述第二平膜型压电元件的压电片由主面大致呈长方形的平膜构成,且所述单轴方向的延伸轴沿着与该平膜的长边方向成0°±10°的方向或者90°±10°的方向取向。
4.根据权利要求2或3所述的位移传感器,其特征在于,
所述弹性体具有导电性,
具有所述导电性的弹性体兼用所述第一平膜型压电元件的所述弹性体侧的电极、以及所述第二平膜型压电元件的所述弹性体侧的电极。
5.根据权利要求1所述的位移传感器,其特征在于,
层叠有多片所述平膜型压电元件。
6.根据权利要求2或3所述的位移传感器,其特征在于,
层叠有多片所述第一平膜型压电元件的压电片、以及所述第二平膜型压电元件的压电片中的至少一方。
7.根据权利要求4所述的位移传感器,其特征在于,
层叠有多片所述第一平膜型压电元件的压电片、以及所述第二平膜型压电元件的压电片中的至少一方。
8.根据权利要求1~3、7中的任意一项所述的位移传感器,其特征在于,
所述电极以及所述弹性体由具有透光性的材料构成。
9.根据权利要求4所述的位移传感器,其特征在于,
所述电极以及所述弹性体由具有透光性的材料构成。
10.根据权利要求5所述的位移传感器,其特征在于,
所述电极以及所述弹性体由具有透光性的材料构成。
11.根据权利要求6所述的位移传感器,其特征在于,
所述电极以及所述弹性体由具有透光性的材料构成。
12.一种位移传感器,其特征在于,具备:
弹性体;和
平膜型压电元件,其安装于该弹性体的第一主面,并在压电片的两个主面上形成有电极,
所述压电片包含聚乳酸,且至少在单轴方向上延伸,
所述弹性体的机械强度比所述压电片的机械强度高,避免变形的中性点在压电元件内,
将安装于所述弹性体的所述第一主面的所述平膜型压电元件作为第一平膜型压电元件,
所述的位移传感器还具备第二平膜型压电元件,所述第二平膜型压电元件安装于与所述弹性体的所述第一主面对置的第二主面,并在压电片的两个主面上形成有电极,
该第二平膜型压电元件的压电片包含聚乳酸,且至少在单轴方向上延伸而形成,
所述第一平膜型压电元件的压电片由主面大致呈长方形的平膜构成,且所述单轴方向的延伸轴沿着与该平膜的长边方向成22.5°±10°的方向或者67.5°±10°的方向取向,
所述第二平膜型压电元件的压电片由主面大致呈长方形的平膜构成,且所述单轴方向的延伸轴沿着与该平膜的长边方向成22.5°±10°的方向或者67.5°±10°的方向取向。
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