[发明专利]在PET 上的聚合物基质的选择性蚀刻无效

专利信息
申请号: 201280018494.5 申请日: 2012-03-28
公开(公告)号: CN103492947A 公开(公告)日: 2014-01-01
发明(设计)人: A·梅热尔;W·斯托库姆;I·科勒 申请(专利权)人: 默克专利股份有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;H01L51/00;G03F7/20
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 冯奕
地址: 德国达*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: pet 聚合物 基质 选择性 蚀刻
【权利要求书】:

1.选择性蚀刻具有Ag纳米管的聚合物基质的方法,包含下列步骤:

a)将碱性蚀刻糊施加到塑料基材上,

b)加热,以及

c)清洁所述基材。

2.根据权利要求1的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含选自KOH、Ca(OH)2、NaOH、TMAH、乙二胺、TMEH、SiOH、二乙醇胺和三乙醇胺的碱性蚀刻剂。

3.根据权利要求1的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含选自1,4-丁二醇、丁内酯、乙醇或甲醇的溶剂。

4.根据权利要求1的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含1,4-丁二醇作为溶剂。

5.根据权利要求1至4的一项或多项的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含有机和/或无机的填料。

6.根据权利要求1至5的一项或多项的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含作为粒状填料的有机聚合物颗粒。

7.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述施加的蚀刻糊被印模印刷在所述基材上。

8.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述蚀刻糊是通过丝网印刷、特别是旋转丝网印刷或模板印刷施加到所述基材上的。

9.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述蚀刻糊是通过喷墨、尤其是通过微喷墨施加到所述基材上的。

10.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述蚀刻糊是分配到所述基材上的。

11.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述蚀刻糊是通过喷涂或者通过滑动涂布施加到所述基材上的。

12.根据权利要求1至11的一项或多项的方法,其中在步骤b)中将所述基材加热至大约40至140℃的温度范围,优选至大约80-120℃的温度范围。

13.根据权利要求1至11任一项的方法,其中在步骤b)中将所述基材在80℃下加热2分钟。

14.根据权利要求1至13任一项的方法,其中在步骤b)中经蚀刻后使用溶剂冲洗所述基材,并用干燥空气或者在氮气流中干燥所述基材。

15.根据权利要求1至14任一项的方法,其中在步骤b)中经蚀刻后使用去离子水冲洗所述基材,并用干燥空气或者在氮气流中干燥所述基材。

16.根据权利要求1的方法,其中所述塑料基材由聚氨酯或者PEN[聚(萘二甲酸乙二醇酯)]或者PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)制成。

17.根据权利要求1至16的一项或多项的方法,特征在于用至少100μm的分辨率蚀刻线和结构。

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