[发明专利]在PET 上的聚合物基质的选择性蚀刻无效
申请号: | 201280018494.5 | 申请日: | 2012-03-28 |
公开(公告)号: | CN103492947A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | A·梅热尔;W·斯托库姆;I·科勒 | 申请(专利权)人: | 默克专利股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;H01L51/00;G03F7/20 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 冯奕 |
地址: | 德国达*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | pet 聚合物 基质 选择性 蚀刻 | ||
1.选择性蚀刻具有Ag纳米管的聚合物基质的方法,包含下列步骤:
a)将碱性蚀刻糊施加到塑料基材上,
b)加热,以及
c)清洁所述基材。
2.根据权利要求1的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含选自KOH、Ca(OH)2、NaOH、TMAH、乙二胺、TMEH、SiOH、二乙醇胺和三乙醇胺的碱性蚀刻剂。
3.根据权利要求1的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含选自1,4-丁二醇、丁内酯、乙醇或甲醇的溶剂。
4.根据权利要求1的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含1,4-丁二醇作为溶剂。
5.根据权利要求1至4的一项或多项的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含有机和/或无机的填料。
6.根据权利要求1至5的一项或多项的方法,其中所述施加的蚀刻糊包含作为粒状填料的有机聚合物颗粒。
7.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述施加的蚀刻糊被印模印刷在所述基材上。
8.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述蚀刻糊是通过丝网印刷、特别是旋转丝网印刷或模板印刷施加到所述基材上的。
9.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述蚀刻糊是通过喷墨、尤其是通过微喷墨施加到所述基材上的。
10.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述蚀刻糊是分配到所述基材上的。
11.根据权利要求1至6的一项或多项的方法,其中所述蚀刻糊是通过喷涂或者通过滑动涂布施加到所述基材上的。
12.根据权利要求1至11的一项或多项的方法,其中在步骤b)中将所述基材加热至大约40至140℃的温度范围,优选至大约80-120℃的温度范围。
13.根据权利要求1至11任一项的方法,其中在步骤b)中将所述基材在80℃下加热2分钟。
14.根据权利要求1至13任一项的方法,其中在步骤b)中经蚀刻后使用溶剂冲洗所述基材,并用干燥空气或者在氮气流中干燥所述基材。
15.根据权利要求1至14任一项的方法,其中在步骤b)中经蚀刻后使用去离子水冲洗所述基材,并用干燥空气或者在氮气流中干燥所述基材。
16.根据权利要求1的方法,其中所述塑料基材由聚氨酯或者PEN[聚(萘二甲酸乙二醇酯)]或者PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)制成。
17.根据权利要求1至16的一项或多项的方法,特征在于用至少100μm的分辨率蚀刻线和结构。
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