[发明专利]通过高沸点的氯硅烷或含氯硅烷的混合物制备氯硅烷的方法有效
申请号: | 201280018504.5 | 申请日: | 2012-02-28 |
公开(公告)号: | CN103517874B | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | E·米;H·劳莱德;R·肖尔克 | 申请(专利权)人: | 赢创德固赛有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 石克虎;林森 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 通过 沸点 硅烷 混合物 制备 方法 | ||
1.制备通式H4-nSiCln的氯硅烷的方法,其中n=1、2、3和/或4,其特征在于,在至少一个含硅的反应器中,硅床中的硅与Cl2或HCl和至少一种含硅的化合物进行反应。
2.根据权利要求1的方法,其中使用固定床反应器、流化床反应器和/或搅拌床反应器。
3.根据权利要求1或2的方法,其中硅床中的Si与Cl2或HCl,和至少一种以混合物G形式的含硅化合物进行反应,
(G)含有带有至少2个Si原子的聚硅烷、聚氯硅烷、聚甲基氯硅烷、含氯的聚硅氧烷、不含氯的聚硅氧烷、聚甲基氯硅氧烷、HSiCl3、(CH3)HSiCl2、(CH3)H2SiCl、CH3SiCl3、(CH3)2SiCl2、(CH3)3SiCl、CH3SiH3、(CH3)2SiH2、(CH3)3SiH和/或SiCl4。
4.根据权利要求2或3的方法,其特征在于,Cl2或HCl在固定床反应器和/或流化床反应器的格栅的下面流过硅床,并且混合物G在格栅的下面或上面流进。
5.根据前述权利要求之一的方法,其特征在于,反应器调节到反应器中心的温度为800℃至1300℃。
6.根据权利要求3-5之一的方法,其中G是由以下物质组成的混合物:
聚硅烷和聚硅氧烷,
聚硅烷和SiCl4,
聚硅烷和HSiCl3,
聚硅烷和聚硅氧烷和SiCl4,
聚硅烷和聚硅氧烷和HSiCl3,
聚硅烷和聚硅氧烷和SiCl4和HSiCl3,
聚硅氧烷和SiCl4,
聚硅氧烷和HSiCl3,或者
聚硅氧烷和SiCl4和HSiCl3。
7.根据权利要求1的方法,其中所述含硅的化合物选自含氯或不含氯的硅氧烷,或者通式SinHxCly的硅烷,是线性的,n=1至20,x+y=2n+2,或者环状的,n=3至8,x+y=2n。
8.根据权利要求1、4或5的方法,其中所述反应器,
如果使用Cl2而不使用HCl,则在反应器中心调节温度为900℃至1300℃,或者,
如果使用HCl而不使用Cl2,则在反应器中心调节温度为800℃至1200℃,优选900℃至1100℃,特别优选950℃至1050℃。
9.根据权利要求3-8之一的方法,其中,通过氯化氢流或流进的混合物G的流来调节反应器中心的温度。
10.根据前述权利要求之一的方法,其中,用至少一种液态的含硅化合物流过硅床。
11.根据权利要求1至10至少一项获得的氯硅烷。
12.根据权利要求11的氯硅烷,处于与高沸物一起形成的混合物中,含有:
10至20重量%HSiCl3或80至90%重量%SiCl4和0.1至3重量%二氯硅烷,和0.1至3重量%高沸物。
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