[发明专利]压力成形用金属模及压力成形金属模用保护膜的制造方法有效
| 申请号： | 201280019375.1 | 申请日： | 2012-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN103476963A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 果子贵晴;山本兼司 | 申请（专利权）人： | 日本高周波钢业株式会社;株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;B21D37/01;B21D37/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;杨炯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力 成形 金属 保护膜 制造 方法 | ||
1.一种压力成形用金属模，至少在向被成形体接触的成形面上形成有用来防止压力成形时的烧粘的保护膜，其特征在于，
上述保护膜通过PVD法形成，当将从其表面抽取的任意的选择区间划分为多个独立区间，设其划分数为N，设从上述选择区间的端部起第n个划分点处于从第n-1个划分点在上述选择区间延伸的方向上移动dXn、在高度方向上移动dZn后的位置，设上述第n个划分点的表面的倾斜为（dZn/dXn）时，根据下述数式计算的均方根RΔq是0.032以下。
2.如权利要求1所述的压力成形用金属模，其特征在于，
上述保护膜通过以含有50原子%以上Al的金属材为阴极的PVD法形成。
3.如权利要求2所述的压力成形用金属模，其特征在于，
上述保护膜是在向上述被成形体接触的一侧形成有由TiAlN类的材料构成的第1薄膜的结构。
4.如权利要求3所述的压力成形用金属模，其特征在于，
上述保护膜是形成有形成在上述成形面上的由CrN类的材料构成的第2薄膜、在该第2薄膜上形成有上述第1薄膜的结构。
5.一种压力成形金属模用保护膜的制造方法，在压力成形用金属模的至少向被成形体接触的成形面上，形成用来防止压力成形时的烧粘的保护膜，其特征在于，
具有在反应气体环境中、以成为上述保护膜的金属材料为阴极而在上述成形面上通过PVD法形成保护膜的工序、和将该保护膜的表面研磨的工序；
在上述将保护膜的表面研磨的工序中，进行研磨，以便当将从上述保护膜的表面抽取的任意的选择区间划分为多个独立区间，设其划分数为N，设从上述选择区间的端部起第n个划分点处于从第n-1个划分点在上述选择区间延伸的方向上移动dXn、在高度方向上移动dZn后的位置，设上述第n个划分点的表面的倾斜为（dZn/dXn）时，根据下述数式计算的均方根RΔq是0.032以下。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本高周波钢业株式会社;株式会社神户制钢所，未经日本高周波钢业株式会社;株式会社神户制钢所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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