[发明专利]光学扫描探针

权利要求书

1.一种光学扫描探针，包括：

柔性管；

光纤，用于传输扫描光的所述光纤支撑在所述柔性管中，以能够围绕所述光纤的轴自由地旋转；以及

物镜，所述物镜具有正的光学功率，以将从所述光纤透出的所述扫描光从发散光束转换为平行光束或者会聚光束，并且与光纤整体地旋转，

其中所述物镜具有使所述扫描光偏斜以照射目标的挠曲表面。

2.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中所述物镜为GRIN透镜。

3.根据权利要求2所述的光学扫描探针，其中所述挠曲表面为所述GRIN透镜的目标侧端表面的挠曲表面，所述挠曲表面形成为相对于所述轴倾斜。

4.根据权利要求1到3中任一项所述的光学扫描探针，其中所述挠曲表面是圆柱形表面，在一个方向上具有预定曲度。

5.根据权利要求4所述的光学扫描探针，其中所述圆柱形表面的预定曲度被设置为纠正当所述扫描光穿过所述物镜和所述柔性管传输时引起的像散的值。

6.根据权利要求1到5中任一项所述的光学扫描探针，其中所述挠曲表面为配置有反射所述扫描光的涂层的反射表面，或者完全反射所述扫描光的全反射表面。

7.根据权利要求1到6中任一项所述的光学扫描探针，进一步包括重心调整构件，所述重心调整构件结合至所述挠曲表面，并使得所述物镜和所述重心调整构件的组合重心位于所述光纤的轴上。