[发明专利]带电粒子束照射装置

权利要求书

1.一种带电粒子束照射装置，其向被照射体照射带电粒子束，该带电粒子束照射装置的特征在于，具备：

传输线路，传输所述带电粒子束；及

旋转机架，能够绕旋转轴线旋转，

所述传输线路具有使向所述旋转轴线方向行进的所述带电粒子束以与所述旋转轴线分开的方式倾斜行进的倾斜部，且形成为使在所述倾斜部内行进的所述带电粒子束沿所述旋转轴线的旋转方向回转，并使沿所述旋转方向回转的所述带电粒子束向所述旋转轴线侧弯曲，

所述旋转机架能够容纳所述被照射体，并且，以支承所述传输线路的筒体形成，

所述传输线路的所述倾斜部通过所述旋转机架的所述筒体内而配置。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束照射装置，其中，所述传输线路具备：

第1弯曲部，改变在所述旋转轴线方向上行进的带电粒子束的行进方向，而将所述带电粒子束导入到所述倾斜部；

第2弯曲部，设置于所述倾斜部的下游，朝向与所述旋转轴线正交的方向改变所述带电粒子束的行进方向；

第3弯曲部，设置于所述第2弯曲部的下游，朝向所述旋转轴线的旋转方向改变所述带电粒子束的行进方向；及

第4弯曲部，使通过所述第3弯曲部内的带电粒子束，朝向所述旋转轴线侧弯曲。

3.根据权利要求1或2所述的带电粒子束照射装置，其特征在于，

所述旋转机架具有所述旋转轴线延伸方向的一端侧被背面板关闭的照射室，

所述传输线路的所述倾斜部通过所述旋转机架的所述背面板及所述筒体内而配置。

4.一种带电粒子束照射装置，其向被照射体照射带电粒子束，其特征在于，具备：

传输线路，传输所述带电粒子束；及

旋转机架，可绕旋转轴线旋转，

所述传输线路至少具有使在所述旋转轴线方向上行进的所述带电粒子束以与所述旋转轴线分开的方式倾斜行进的倾斜部，

所述旋转机架具有所述旋转轴线延伸方向的一端侧被背面板关闭的筒体的照射室，

所述传输线路的所述倾斜部通过所述旋转机架的所述背面板及所述筒体内而配置。