[发明专利]磁盘用玻璃毛坯的制造方法以及磁盘用玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及磁盘用玻璃毛坯的制造方法以及磁盘用玻璃基板的制造方法。

背景技术

现今，在个人计算机或者DVD（Digital Versatile Disc）记录装置等为了数据记录，内置硬盘装置（HDD：Hard Disk Drive）。尤其是，在用于笔记本型个人计算机等以可搬运性为前提的设备的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置了磁性层的磁盘，由在磁盘的面上略微上浮的磁头（DFH（Dynamic Flying Height)头）在磁性层记录或者读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，由于玻璃基板与金属基板（铝基板）等相比具有难以塑性变形的性质，所以，适合使用。

虽然磁头例如具备磁阻效果型元件，但是，存在在这样的磁头上作为固有的故障引起热粗糙故障的情况。热粗糙故障是指在磁头在磁盘的微小的凹凸形状的主表面上一面上浮飞行，一面通过时，磁阻效果型元件因空气的隔热压缩或接触而被加热，产生读出错误这样的故障。为此，为了避免热粗糙故障而制作成磁盘用玻璃基板的主表面的表面粗糙度、平面度等表面性状达到良好的水平。

作为以往的板状玻璃（玻璃毛坯）的制造方法，已知垂直直接模压法。该模压法是向下模上供给熔融玻璃的块，使用上模模压成形熔融玻璃的块（熔融玻璃块）的方法。在垂直直接模压法中，由于从向下模供给熔融玻璃的块（熔融玻璃块）到模压为止的时间长，所以，若使下模的表面粗糙度良好，则成为熔融玻璃块熔敷在下模的状态（也就是，产生下模与高温的熔融玻璃块积累地长时间接触的状态，其表面氧化，成为玻璃烧结的状态）。因此，在垂直直接模压法中，一般为了防止熔融玻璃块熔敷在下模不能除去，有必要预先使例如BN（氮化硼）等脱模材料附着在下模。据此，确保玻璃毛坯的脱模性。但是，通过模压成形得到的玻璃毛坯的表面附着有脱模材料的粒子，成为突出的状态，即使使模具的成形面的表面粗糙度成为良好的粗糙度，所得到的玻璃毛坯的表面粗糙度也因附着的脱模材料的粒子而变大。

在模压成形后，为将通过模压成形得到的玻璃毛坯做成盘状的玻璃基板，进行沿同心圆的2个圆形状切割的形状加工工序，但是，形状加工有使用空心钻的方法和基于划线的方法。一般来说，基于划线的方法在正圆度以及/或者同心度这点良好，但是，在玻璃毛坯的表面粗糙度大的情况下，存在刀弹起的情况，由于切痕没有作为基于连续的线的圆被形成，所以，在割断时，存在玻璃毛坯裂开的情况。也就是说，由于在玻璃毛坯的表面粗糙度大的情况下，划线的成品率低下，所以，在批量生产工序中不能采用基于划线的方法。为此，在玻璃毛坯的表面粗糙度大的情况下，采用使用空心钻的方法，但是，由于钻的正圆度、旋转轴的抖动，不能得到划线那样的正圆度以及/或者同心度。因此，在成形表面粗糙度因附着的脱模材料的粒子而大的玻璃毛坯的垂直直接模压法中，在一面确保高的成品率，一面提高正圆度等外形精度的方面存在界限。在垂直直接模压法中，也考虑可以不使脱模材料附着在上模地进行模压，在由上模成形的面做出用于划线的切痕，但是，由于脱模材料的粒子附着在由下模成形的面上，所以，在玻璃毛坯被完全割断时，正圆度以及/或者同心度依然恶化。

针对上述观点，专利文献1公开了将垂直直接模压中的模具形成为模压后的玻璃毛坯同心圆状地包括中心线平均粗糙度Ra为0.1～50nm的第一以及第二切割区域（成为基于划线的切割的对象的区域）和除此之外的中心线平均粗糙度Ra为100nm以上的区域。据此，能够稳定地做出第一以及第二切割区域中的形状加工的切痕，能够形成崩角等缺陷少的切割面，且由中心线平均粗糙度Ra为100nm以上的区域（比较粗的区域）确保模压成形时的玻璃毛坯的脱模性。另外，一般来说，进行形状加工，除划线刀具外，还有使用空心钻的方法，但是，划线刀具的方法可以进行高正圆度的圆形的形状加工。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-269762号公报

然而，由于垂直直接模压所使用的模具并非是进行熔融玻璃被模压拉长时的外形限制，所以，通过模压得到的玻璃毛坯的正圆度低。为此，不能以玻璃毛坯的外形为基础决定划线刀具的切割线的中心位置。因此，在上述专利文献1记载的模压成形方法中，需要从形成在玻璃毛坯上的第一以及第二切割区域（2个同心圆状的区域）决定划线刀具的切割线的中心位置的机构。另外，在垂直直接模压所使用的模具中，在进行熔融玻璃被模压拉长时的外形限制的情况下，存在模具容易因熔融玻璃而引起烧结这样的问题。