[发明专利]层叠体的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及层叠体的制造方法。

背景技术

近年来，基于地球环境保护的观点，希望有安全性更高的清洁能源。将来受到期待的清洁能源中，从其清洁性、安全性和操作难易度来看，特别是太阳能电池受到的期待越来越高。

太阳能电池的将太阳光转换为电能的心脏部是电池单元，作为该电池单元，广泛采用由单晶、多晶或非晶硅类的半导体构成的单元。该电池单元通常多个串联或并联布线，并为了长时间维持其机能而用各种材料保护，作为太阳能电池模块使用。

太阳能电池模块一般呈下述结构：通过强化玻璃覆盖电池单元的太阳光照射的一侧的面，通过背板对背面进行密封，在电池单元与强化玻璃之间的间隙、电池单元与背板之间的间隙分别填充有由热塑性树脂(特别是乙烯-乙酸乙烯基酯聚合物(以下称为EVA))形成的填充剂。

对于太阳能电池模块要求20～30年左右的制品品质保证。太阳能电池模块主要在室外使用，对其构成材料要求耐候性。此外，强化玻璃和背板承担防止模块内部的水分导致的劣化的作用，还要求水蒸气阻隔性等气体阻隔性。

强化玻璃虽然透明性、耐候性、气体阻隔性等良好，但可塑性、耐冲击性、操作性等低。此外，近年来，为了太阳能电池的轻量化和成本降低，对采用卷对卷(Roll-to-Roll)工艺的太阳能电池制作进行着研究，在该领域中无法使用强化玻璃。

于是，对采用树脂板、特别是耐候性良好的氟树脂板来代替强化玻璃的方法进行着研究。但是，树脂板存在气体阻隔性比强化玻璃低的问题。

对于上述问题，提出了设置无机膜的方案。例如专利文献1中，提出了将氟树脂板和具有无机氧化物的蒸镀薄膜的树脂板层叠而得的保护板。此外，专利文献2中，提出了在氟树脂板等塑料板的一面设置耐蒸镀保护膜并设置无机氧化物的蒸镀膜的太阳能电池模块用保护板。

如上所述的无机膜具有气体阻隔性，使耐湿性等提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本专利特开2000-138387号公报

专利文献2:日本专利特开2000-340818号公报

发明的概要

发明所要解决的技术问题

作为如上所述的无机膜的成膜方法，已知多种方法，特别是溅射法和等离子体化学蒸镀(CVD)法被认为可形成致密且气体阻隔性高的膜。但是，这些目前的成膜方法中，在含有氟树脂的基材板上直接形成无机膜的情况下，特别是基材采用含有乙烯-四氟乙烯类共聚物的板的情况下，存在它们之间的密合性容易下降的问题。如果密合性低，则以与该无机膜相接的方式设置填充剂层而构成太阳能电池模块时，产生无机膜从基材板剥离的问题。如果因剥离而在该无机膜与填充剂层之间产生间隙，则由于水分渗入等原因，太阳能电池模块的耐久性下降。

作为提高基材板与无机膜的密合性的方法，还有对基材板表面实施电晕放电处理等表面处理的方法，该情况下，初期的密合性有一定程度的提高，但难以长期维持其密合性。

如专利文献1中所记载，在非氟树脂类的树脂板(例如聚对苯二甲酸乙二醇酯膜)上形成无机膜的情况下，密合性的下降并不会造成问题，但树脂板本身的耐候性不足。

本发明是鉴于上述情况而完成的发明，提供可获得耐候性、气体阻隔性和层间的密合性的长期稳定性良好的层叠体的制造方法。

解决技术问题所采用的技术方案

解决上述课题的本发明具有以下的形态。

[1]层叠体的制造方法，它是制造在含有氟树脂的基材板的至少单面上直接层叠有气体阻隔膜的层叠体的方法，其特征在于，

所述气体阻隔膜采用由选自氧、氮和碳的至少1种与硅或铝构成的无机化合物作为主成分；

通过频率为27.12MHz的高频等离子体化学蒸镀法在所述基材板上形成所述气体阻隔膜。

[2]如上述[1]所述的层叠体的制造方法，其中，所述氟树脂包含乙烯-四氟乙烯共聚物。

[3]如上述[1]或[2]所述的层叠体的制造方法，其中，所述无机化合物是由选自氧、氮和碳的至少1种与硅构成的无机硅化合物。

[4]如上述[3]所述的层叠体的制造方法，其中，所述无机化合物是氮化硅或氧氮化硅。

[5]如上述[1]～[4]中任一项所述的层叠体的制造方法，其中，成为所述无机化合物中的硅源的气体是SiH₄或卤代硅烷。

[6]如上述[1]～[5]中任一项所述的层叠体的制造方法，其中，所述层叠体的可见光透射率为80％以上。