[发明专利]显微镜系统有效
申请号: | 201280021356.2 | 申请日: | 2012-01-25 |
公开(公告)号: | CN103534629A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 福武直树;矢泽洋纪;中山繁;中岛伸一 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G02B21/14 | 分类号: | G02B21/14 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 杨晓光;于静 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显微镜 系统 | ||
1.一种相位对比显微镜系统,该显微镜系统观察样本,所述显微镜系统包括:
照明光学系统,其采用来自光源的照明光照明所述样本;
成像光学系统,其从来自所述样本的光形成所述样本的图像;
第一空间调制元件,其放置在所述成像光学系统的光瞳位置处并且改变来自所述样本的光振幅透射率分布;
图像传感器,其通过所述成像光学系统检测所述样本的图像并且输出图片信号;
计算部件,其基于由所述图像传感器检测的输出数据和由所述第一空间调制元件形成的来自所述样本的所述光振幅透射率分布来计算适于观察所述样本的来自所述样本的光振幅透射率分布。
2.根据权利要求1所述的显微镜系统,
其中所述第一空间调制元件基于由所述计算部件所计算的来自所述样本的光振幅透射率分布来改变来自所述样本的所述光振幅透射率分布。
3.根据权利要求2所述的显微镜系统,
其中所述第一空间调制元件改变用于通过所述成像光学系统透射的光的其它相位的空间分布。
4.根据权利要求2所述的显微镜系统,
其中所述第一空间调制元件改变用于通过所述成像光学系统透射的光的透射率的空间分布。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的显微镜系统,该显微镜系统还包括:
第二空间调制元件,其改变与所述成像光学系统的所述光瞳位置共轭的所述照明光的强度分布;
其中所述第二空间调制元件通过多个可移动的反射镜来配置。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的显微镜系统,该显微镜系统还包括:
第二空间调制元件,其改变在所述成像光学系统的所述光瞳的共轭位置处的所述照明光的强度分布,
其中所述第二空间调制元件通过衍射光栅来配置。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的显微镜系统,
其中,改变照明至所述样本的照明光的波长,而且所述计算部件基于每个所改变的波长的所述输出数据来计算最适合用于观察所述样本的波长。
8.根据权利要求1至6中的任一项所述的显微镜系统,
其中所述计算部件基于由所述图像传感器检测的所述输出数据来计算所述样本的图像的对比或空间频率。
9.根据权利要求6所述的显微镜系统,
其中由所述第一空间调制元件形成的相位或透射率的调制区域的形状与由所述第二空间调制元件形成的所述照明光的强度分布的形状相同。
10.根据权利要求6或9所述的显微镜系统,
其中所述计算部件同步改变所述第一空间调制元件和基于此改变所述第二空间调制元件,并且计算适于观察的所述照明光的强度分布。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的显微镜系统,该显微镜系统还包括:
显示部件,其显示参数设定部分和区域设定部分,所述参数设定部分设定用于输入用于所述样本的观察图像的观察条件的参数,所述观察条件由观察者请求并允许,所述区域设定部分设定所述观察图像的观察区域。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的显微镜系统,
其中所述图像传感器放置在所述成像光学系统的成像平面上并且检测所述样本的图片输出数据;以及
其中所述计算部件通过细微改变所述照明光的分布并且通过获取无论何时都改变所述照明光的分布的所述图片输出数据来顺序计算所述照明光的强度分布的适当尺寸。
13.根据权利要求1至11中任一项所述的显微镜系统,
其中所述图像传感器放置在所述成像光学系统的成像平面上并且检测所述样本的所述图片的输出数据;以及
其中所述计算部件通过改变所述照明光的强度分布以便形成所述照明光的第一和第二强度分布并且通过获取与其对应的第一和第二图片的输出数据来通过基因算法计算所述照明光的最优强度分布,其中所述基因算法使用所述第一和第二图片的输出数据作为初始数据。
14.一种程序,该程序通过使用显微镜系统观察样本,该显微镜系统包括观察所述样本的相位对比显微镜和连接到所述显微镜的计算部件,所述显微镜包括:
照明光学系统,其采用来自光源的照明光照明所述样本;
成像光学系统,其从来自所述样本的光形成所述样本的图像;
第一空间调制元件,其放置在所述成像光学系统的光瞳位置处并且改变来自所述样本的光振幅透射率分布;
图像传感器,其检测由所述成像光学系统形成的所述样本的图像并且输出图片信号,
其中所述程序使所述计算部件基于由所述图像传感器检测到的输出数据和由所述第一空间调制元件形成的来自所述样本的所述光振幅透射率分布来计算适于观察所述样本的来自所述样本的光振幅透射率分布。
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