[发明专利]有机EL器件的制造方法及制造装置

权利要求书

1.一种有机EL器件的制造方法，其中，在使带状的基材沿着长度方向移动的同时，通过蒸镀在该基材上形成机EL元件的结构层，其特征在于，

该有机EL器件的制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，在使上述基材沿着长度方向移动的同时，利用沿着该基材的移动方向配置的至少朝上蒸镀部和横向蒸镀部，从蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀，

上述结构层形成工序包括以下工序：

朝上蒸镀工序，在上述朝上蒸镀部处，在使上述基材以上述蒸镀面朝向下方的状态移动的同时，从配置在该基材的下方的上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料来进行蒸镀；

横向蒸镀工序，在上述横向蒸镀部处，在使上述基材以上述蒸镀面朝向侧方的状态移动的同时，从配置在该基材的侧方的上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料来进行蒸镀；以及

方向改变工序，利用设置在上述朝上蒸镀部和上述横向蒸镀部之间的引导机构，将从上述朝上蒸镀部输送来的上述基材以该基材的非蒸镀面成为内周面的方式从该非蒸镀面侧支承并将上述蒸镀面的朝向从下方变为侧方，将该基材引导到上述横向蒸镀部。

2.一种有机EL器件的制造方法，其中，在使带状的基材沿着长度方向移动的同时，通过蒸镀在该基材上形成机EL元件的结构层，其特征在于，

该有机EL器件的制造方法包括结构层形成工序，在该结构层形成工序中，在使上述基材沿着长度方向移动的同时，利用沿着该基材的移动方向配置的至少横向蒸镀部和朝上蒸镀部，从蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料，依次进行蒸镀，

上述结构层形成工序包括以下工序：

横向蒸镀工序，在上述横向蒸镀部处，在使上述基材以上述蒸镀面朝向侧方的状态移动的同时，从配置在该基材的侧方的上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料来进行蒸镀；

朝上蒸镀工序，在上述朝上蒸镀部处，在使上述基材以上述蒸镀面朝向下方的状态移动的同时，从配置在该基材的下方的上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料来进行蒸镀；以及

方向改变工序，利用设置在上述横向蒸镀部和上述朝上蒸镀部之间的引导机构，将从上述横向蒸镀部输送来的上述基材以该基材的非蒸镀面成为内周面的方式从该非蒸镀面侧支承并将上述蒸镀面的朝向从侧方变为下方，将该基材引导到上述朝上蒸镀部。

3.根据权利要求1或2所述的有机EL器件的制造方法，其中，

上述引导机构具有用于支承上述非蒸镀面的多个辊构件，

该辊构件中的至少1个辊构件沿着相对于上述基材的宽度方向倾斜的方向配置。

4.根据权利要求3所述的有机EL器件的制造方法，其中，

上述辊构件中的至少1个辊构件沿着相对于上述宽度方向倾斜45°的方向配置。

5.一种有机EL器件的制造装置，其用于在使带状的基材沿着长度方向移动的同时通过蒸镀在该基材上形成机EL元件的结构层，其特征在于，

该有机EL器件的制造装置包括：

朝上蒸镀部，其在移动的上述基材的下方具有蒸镀源，在使上述基材以上述蒸镀面朝向下方的状态移动的同时，从上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料来进行蒸镀；

横向蒸镀部，其在移动的上述基材的侧方具有蒸镀源，在使上述基材以上述蒸镀面朝向侧方的状态移动的同时，从上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料来进行蒸镀；以及

方向改变部，其设置在上述朝上蒸镀部和上述横向蒸镀部之间，包括引导机构，该引导机构将从上述朝上蒸镀部输送来的上述基材以该基材的非蒸镀面成为内周面的方式从该非蒸镀面侧支承并将上述蒸镀面的朝向从下方变为侧方，将该基材引导到上述横向蒸镀部。

6.一种有机EL器件的制造装置，其用于在使带状的基材沿着长度方向移动的同时通过蒸镀在该基材上形成机EL元件的结构层，其特征在于，

该有机EL器件的制造装置包括：

横向蒸镀部，其在移动的上述基材的侧方具有蒸镀源，在使上述基材以上述蒸镀面朝向侧方的状态移动的同时，从上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料来进行蒸镀；

朝上蒸镀部，其在移动的上述基材的下方具有蒸镀源，在使上述基材以上述蒸镀面朝向下方的状态移动的同时，从上述蒸镀源向上述蒸镀面喷出上述气化材料来进行蒸镀；以及

方向改变部，其设置在上述横向蒸镀部和上述朝上蒸镀部之间，包括引导机构，该引导机构将从上述横向蒸镀部输送来的上述基材以该基材的非蒸镀面成为内周面的方式从该非蒸镀面侧支承并将上述蒸镀面的朝向从侧方变为下方，将该基材引导到上述朝上蒸镀部。