[发明专利]具有多折谐振腔的波导CO2激光器

权利要求书

1.气体放电激光器，包括：

激光器壳体，其包含激光气体；

多个陶瓷管，其定位在所述激光器壳体中并且填充有所述激光气体，其所述陶瓷管中的相邻陶瓷管彼此成锐角，并且其相邻陶瓷管的端部被定形且装配在一起以提供共同孔径；

第一和第二电极，其定位在所述壳体中并且被布置为当电力施加至所述电极时在所述陶瓷管中的所述激光气体中产生气体放电；以及

多个反射镜，其被布置为形成具有延伸贯通所述多个陶瓷管的纵轴线的激光器谐振腔。

2.如权利要求1所述的激光器，其中在以Z形装配在一起的多个中存在三个陶瓷管。

3.如权利要求2所述的激光器，其中所述陶瓷管中的相邻陶瓷管之间的角度在大约两度和大约十度之间。

4.如权利要求1所述的激光器，其中所述电极彼此间隔开且平行，所述陶瓷管介于所述电极之间且在所述电极中的相应凹槽中。

5.如权利要求4所述的激光器，其中通过朝向彼此挤压电极的弹簧力将所述陶瓷管保持装配在一起。

6.如权利要求5所述的激光器，其中所述第二电极停靠在所述壳体的底座上，并且通过压缩在所述第一电极和所述壳体之间的一个或多个弹簧将所述弹簧力施加至上方电极。

7.如权利要求5所述的激光器，其中存在沿所述电极的相对侧间隔开的呈张紧弹簧形式的多个感应线圈，其中每个感应线圈将所述第一电极连接至所述第二电极以使弹簧张力提供朝向彼此挤压所述电极的所述弹簧力。

8.如权利要求4所述的激光器，其中所述壳体的内部处于亚大气压下，并且所述壳体和电极被构造和布置为使得由于所述壳体外的大气压而使所述壳体向所述电极施加压力，从而保持装配在一起的所述陶瓷管。

9.气体放电激光器，包括：

激光器壳体，其包含激光气体；

多个陶瓷管，其定位在所述激光器壳体中并且填充有所述激光气体，其所述陶瓷管中的相邻陶瓷管彼此成锐角；

第一和第二电极定位在所述壳体中并且被布置为当电力施加至所述电极时在所述陶瓷管中的所述激光气体中产生气体放电，所述电极被进一步布置为将多个陶瓷管保持为彼此对齐；以及

多个反射镜，其被布置为形成具有延伸贯通所述多个陶瓷管的纵轴线的激光器谐振腔。

10.如权利要求9所述的激光器，其中所述陶瓷管中的所述相邻陶瓷管的端部被定形且装配在一起以提供共同孔径。

11.如权利要求9所述的激光器，其中在所述多个陶瓷管中存在三个陶瓷管且以Z形布置。

12.如权利要求11所述的激光器，其中所述陶瓷管中的相邻陶瓷管之间的角度在大约两度和大约十度之间。

13.如权利要求9所述的激光器，其中所述电极彼此间隔开且平行，所述陶瓷管介于所述电极之间且在所述电极中的相应凹槽中。

14.如权利要求13所述的激光器，其中通过朝向彼此挤压电极的弹簧力将所述陶瓷管保持装配在一起。

15.气体激光器，包括：

气密壳体；

一对间隔开的、细长的电极；

折叠波导，其位于所述电极之间，所述波道有至少三个管状陶瓷段形成，两个所述段彼此平行地取向且定位在所述电极的细长的侧边缘附近，并且所述段中的至少一个定位在所述两个段之间且与其成非法向角度；以及

光学谐振腔，其由包括至少两个端面镜的多个反射镜限定，一个所述端面镜被定位成与所述两个段中的一个的端部邻近且所述端面镜中的另一个被定位成与所述两个段中的另一个的端部邻近，所述光学谐振腔包括被定位在所述至少一段的相对端部处的至少两个折叠反射镜，用于将从所述一段出现的激光辐射线折返到相邻段中。

16.如权利要求15所述的激光器，其中所述电极中的一个包括用于容纳和对齐所述管状段的多个凹槽。

17.如权利要求16所述的激光器，其中所述电极中的另一个包括多个突起，每个突起均包括用于保持并对准所述管状段的凹槽。

18.如权利要求15所述的激光器，其中相邻管状段的端部被装配在一起以限定共同孔径。