[发明专利]曝光用ＬＥＤ光源模块、曝光用ＬＥＤ光源装置及曝光用ＬＥＤ光源装置管理系统

权利要求书

1.一种曝光用ＬＥＤ光源模块，其特征在于，包括：

包括产生强度由供给电流所控制的光的一个以上的LED（Light Emitting Diode）的一个以上曝光用LED光源单元、以及

具有决定由从上述LED产生的光而曝光的曝光区域的图样的剖面，且将在上述LED光源单元放射的光集中并均匀地整齐排列上述所集中的光的光束并以上述剖面的形态射出的棒状透镜（Rod lens）。

2.根据权利要求1所述的曝光用ＬＥＤ光源模块，其特征在于，

进一步包括将从上述一个以上的LED光源单元射出的光分别向上述棒状透镜传递的光纤。

3.根据权利要求1所述的曝光用ＬＥＤ光源模块，其特征在于，

进一步包括：接受从上述棒状透镜射出的光的受光透镜；以及

容纳将从上述受光透镜接受的光集聚到上述曝光区域的聚光透镜，使从上述棒状透镜射出的光到达上述曝光区域地进行导向的导向透镜系统。

4.根据权利要求1所述的曝光用ＬＥＤ光源模块，其特征在于，

上述曝光用LED光源单元进一步包括：上述LED；容纳形成有决定在上述LED产生的光的转印图案的狭缝的掩模并在外周面形成有对在上述LED产生的热进行散热的多个散热片的镜筒；以及位于上述LED与上述掩模之间且由集聚在上述LED产生的光的多个透镜构成的聚光光学系统。

5.根据权利要求3所述的曝光用ＬＥＤ光源模块，其特征在于，

就上述曝光用LED光源模块而言，上述一个以上的曝光用LED光源单元、上述棒状透镜以及上述导向透镜系统各自能够分离或组装。

6.根据权利要求3所述的曝光用ＬＥＤ光源模块，其特征在于，

上述导向透镜系统调节上述受光透镜与上述聚光透镜之间的距离而变更上述曝光区域的大小和光密度。

7.根据权利要求6所述的曝光用ＬＥＤ光源模块，其特征在于，

上述导向透镜系统进一步具备调节在上述聚光透镜所聚光的光的强度的光圈。

8.一种曝光用ＬＥＤ光源装置，其特征在于，包括：

LED光源模块，该LED光源模块包括产生强度由供给电流所控制的光的一个以上的LED（Light Emitting Diode）的一个以上曝光用LED光源单元、以及具有决定由从上述LED产生的光而曝光的曝光区域的图样的剖面，且将在上述LED光源单元放射的光集中并均匀地整齐排列上述所集中的光的光束并以上述剖面的形态射出的棒状透镜（Rod lens）；

分别控制向上述LED光源模块的上述LED光源单元供给的电流的大小而决定到达上述曝光区域的光的强度，并控制上述电流的供给和中断的控制部；

按照上述控制部的控制向上述LED光源单元供给电流的电源供给部；

向使用者显示上述LED光源模块各自的动作状态和供给电流值的显示部；以及

向上述控制部输入使用者的外部命令以控制向上述LED光源单元供给的电流的大小的键操作部。

9.根据权利要求8所述的曝光用ＬＥＤ光源装置，其特征在于，

进一步包括用于向外部的操作终端传输上述LED光源模块各自的动作状态和供给电流值，并接收利用了上述操作终端的管理者的操作命令的第一通信部。

10.根据权利要求8所述的曝光用ＬＥＤ光源装置，其特征在于，

进一步具备从上述曝光设备接收设备状态信号以根据曝光设备的状况供给和中断向上述LED光源单元供给的电流的第二通信部。