[发明专利]激光光源

权利要求书

1.具有桥形波导结构的激光光源，包括

具有多个功能层（4）和有源区域（45）的半导体层序列（10），所述有源区域适于在运行时产生激光，

其中功能层（4）中的至少一个构造为桥形波导结构的桥（11），并且

其中半导体层序列（10）具有模滤波结构（6），所述模滤波结构构造为桥（11）的一部分和/或沿着功能层（4）的主延伸平面构造在桥（11）旁边和/或垂直于功能层（4）的主延伸平面构造在桥（11）下方。

2.根据权利要求1所述的激光光源，其中桥（11）具有垂直于功能层（4）的主延伸平面变化的桥高度（110、110'、110''）作为模滤波结构（6）。

3.根据权利要求2所述的激光光源，其中桥高度（110、110'、110''）沿着桥延伸方向（AA）变化。

4.根据权利要求2或3所述的激光光源，其中桥（11）通过两个沿着桥延伸方向（AA）走向的桥侧面（111、112）限制，并且这些桥侧面（111、112）具有至少部分不同的桥高度（110、110'）。

5.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中在桥（11）旁边作为模滤波结构（6）布置钝化部（63、64），所述钝化部沿着桥延伸方向（AA）变化。

6.根据权利要求5所述的激光光源，其中桥（11）通过两个沿着桥延伸方向（AA）走向的桥侧面（111、112）限制，并且在桥（11）旁边作为模滤波结构（6）在两个桥侧面（111、112）处布置不同的钝化部（63、64）。

7.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中桥（11）通过两个沿着桥延伸方向（AA）走向的桥侧面限制并且作为模滤波结构（6）具有桥侧面的至少一个部分区域的氧化部（471）。

8.根据权利要求7所述的激光光源，其中桥（11）具有含铝的功能层（47），该功能层在至少一个侧面处被氧化。

9.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中半导体层序列（10）具有至少一个功能层作为模滤波结构（6），该至少一个功能层在桥（11）旁边和/或在桥（11）下方至少部分地具有受损结构（66）。

10.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中桥（11）与半导体层序列（10）的、具有改变传导性和/或吸收光的材料（65）作为模滤波结构（6）的功能层邻接。

11.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中作为模滤波结构（6），桥（11）平行于功能层（4）的主延伸平面并且垂直于桥延伸方向（AA）具有变化的水平桥宽度（113、113'、113''）和/或垂直于功能层（4）的主延伸平面以及垂直于桥延伸方向（AA）具有变化的竖直桥宽度（113、113'）。

12.根据权利要求11所述的激光光源，其中水平桥宽度（113、113'、113''）具有至少一个增厚部（61）和/或收缩部（62）。

13.根据权利要求11或12所述的激光光源，其中竖直桥宽度（113、113'）具有收缩部（62），尤其是有源区域（45）的收缩部（62）。

14.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中在桥（11）旁边的模滤波结构（6）具有至少一个散射光滤波结构（67），该至少一个散射光滤波结构具有半导体层序列（10）中的凹陷。

15.根据前述权利要求之一所述的激光光源，其中桥（11）具有弯曲的桥延伸方向（AA、AA'、AA''）作为模滤波结构（6）。