[发明专利]低辐射率层叠体及多层玻璃

权利要求书

1.一种低辐射率层叠体，其特征在于，表面电阻值为3.3Ω/□以下，且制成多层玻璃时的太阳能得热系数为0.60以上。

2.如权利要求1所述的低辐射率层叠体，其特征在于，在透明基体上具有至少使含有钛的氧化物的第一含钛氧化物层、以银为主要成分的低辐射率金属层及含有钛的氧化物的第二含钛氧化物层以该次序成膜而形成的薄膜层叠部。

3.如权利要求2所述的低辐射率层叠体，其特征在于，所述第一含钛氧化物层及所述第二含钛氧化物层通过使用靶材料的溅射法进行成膜而得到，所述第一含钛氧化物层为通过使用具有比所述第二含钛氧化物层的成膜中使用的靶材料的氧化度低的氧化度的靶材料进行成膜而得到的层。

4.如权利要求2或3所述的低辐射率层叠体，其特征在于，所述第一含钛氧化物层通过使用含有钛的金属靶进行成膜而得到，所述第二含钛氧化物层通过使用含有钛的氧化物的还原性氧化物靶进行成膜而得到。

5.如权利要求2至4中任一项所述的低辐射率层叠体，其特征在于，所述第一含钛氧化物层含有TiO₂作为主要成分，所述第二含钛氧化物层含有TiO_x作为主要成分，x为1＜x＜2的范围。

6.如权利要求2至5中任一项所述的低辐射率层叠体，其特征在于，在所述第一含钛氧化物层上成膜有基底氧化物层，并在其上成膜有以银为主要成分的低辐射率金属层。

7.如权利要求2至6中任一项所述的低辐射率层叠体，其特征在于，所述薄膜层叠部的总膜应力具有23Pa·m以上的压缩应力。

8.如权利要求2至7中任一项所述的低辐射率层叠体，其特征在于，制成多层玻璃时的可见光透射率为70%以上。

9.一种多层玻璃，具有低辐射率层叠体和与所述低辐射率层叠体对置地配置的透明对置基板，所述多层玻璃的特征在于，

所述低辐射率层叠体为权利要求1至8中任一项所述的低辐射率层叠体。