[发明专利]降能器及具备该降能器的带电粒子束照射系统

权利要求书

1.一种降能器，其具备衰减所入射的带电粒子束的能量的多个衰减部件，所述降能器的特征在于，

具有衰减的能量的量不同的多个所述衰减部件，

由所述带电粒子束的透射率高于衰减的能量的量较小的所述衰减部件即高能量侧衰减部件的材质，构成衰减的能量的量较大的所述衰减部件即低能量侧衰减部件。

2.根据权利要求1所述的降能器，其特征在于，

所述多个衰减部件中，只有衰减的能量的量最大的所述低能量侧衰减部件由所述透射率高的材质构成。

3.根据权利要求1或2所述的降能器，其特征在于，

所述低能量侧衰减部件由铍形成，所述高能量侧衰减部件由石墨形成。

4.一种带电粒子束照射系统，其具备权利要求1～3中任一项所述的降能器，且照射所述带电粒子束，所述带电粒子束照射系统具备：

加速器，对向所述降能器导入的带电粒子进行加速；及

照射装置，照射通过所述降能器衰减了能量的所述带电粒子束。