[发明专利]从片材的扫描测量确定CD和MD的变化

权利要求书

1.一种用于从片材作出的扫描测量确定CD变化的方法，包括：

在待测量的片材上以第一扫描速度扫描至少一个传感器，以产生第一扫描测量；

将所述第一扫描测量转换为关于第一空间频率的第一空间功率谱；

检测所述第一空间功率谱的第一空间主要频谱分量；

在待测量的所述片材上以第二扫描速度扫描至少一个传感器，以产生第二扫描测量；

将所述第二扫描测量转换为关于第二空间频率的第二空间功率谱；

检测所述第二空间功率谱的第二空间主要频谱分量；以及

通过确定所述第一空间主要频谱分量中的至少一个与所述第二空间主要频谱分量中的至少一个主要频谱分量处于相同的空间频率的主要频谱分量，识别所述扫描测量的CD频谱分量。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

在待测量的片材上以第三扫描速度扫描至少一个传感器，以产生第三扫描测量；

将所述第三扫描测量转换为关于第三空间频率的第三空间功率谱；

检测所述第三空间功率谱的第三空间主要频谱分量；以及

通过确定所述第一空间主要频谱分量中的至少一个与所述第二空间主要频谱分量中的至少一个主要频谱分量和所述第三空间主要频谱分量中的至少一个主要频谱分量处于相同的空间频率的主要频谱分量，识别所述扫描测量的CD频谱分量。

3.如权利要求1所述的方法，进一步包括

通过所述CD频谱分量的逆变换，构建所述扫描测量内的所述CD变化。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述检测所述第一空间功率谱的第一空间主要频谱分量的步骤包括：

从所述第一空间功率谱中以大小顺序对所有频谱分量进行排序，以形成第一有序空间功率谱；

用第一多项式表示所述第一有序空间功率谱的背景噪声；

关于所述第一多项式设置第一偏差阈值；

将所述第一有序空间功率谱的频谱分量与所述第一偏差阈值比较；

将所述第一有序空间功率谱的超过所述第一偏差阈值的频谱分量从所述第一有序空间功率谱中去除，以形成第一噪声空间功率谱；

用第二多项式表示所述第一空间功率谱中的所述第一噪声空间功率谱；

关于所述第二多项式设置第二偏差阈值；以及

将所述第一空间功率谱的超过所述第二偏差阈值的频谱分量识别为所述第一空间功率谱的第一空间主要频谱分量。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述第一多项式和第二多项式是低阶多项式。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述检测所述第二空间功率谱的第二空间主要频谱分量的步骤包括：

从所述第二空间功率谱中以大小顺序对所有频谱分量进行排序，以形成第二有序空间功率谱；

用第三多项式表示所述第二有序空间功率谱的背景噪声；

关于所述第三多项式设置第三偏差阈值；

将所述第二有序空间功率谱的频谱分量与所述第三偏差阈值比较；

将所述第二有序空间功率谱的超过所述第三偏差阈值的频谱分量从所述第二空间功率谱中去除，以形成第二噪声空间功率谱；

用第四多项式表示所述第二噪声空间功率谱；

关于所述第四多项式设置第四偏差阈值；以及

将所述第二空间功率谱的超过所述第四偏差阈值的频谱分量识别为所述第二空间功率谱的第二空间主要频谱分量。

7.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

将所述第一扫描测量转换为关于第一时间频率的第一时间功率谱；

检测所述第一时间功率谱的第一时间主要频谱分量；

将所述第二扫描测量转换为关于第二时间频率的第二时间功率谱；

检测所述第二时间功率谱的第二时间主要频谱分量；以及

通过确定所述第一时间主要频谱分量中的至少一个主要频谱分量与所述第二时间主要频谱分量中的至少一个主要频谱分量具有相同的时间频率，识别所述扫描测量的MD频谱分量。

8.如权利要求7所述的方法，进一步包括：

通过所述CD频谱分量的逆变换，构建所述扫描测量内的所述CD变化，以及

通过所述MD频谱分量的逆变换，构建所述扫描测量内的所述MD变化。