[发明专利]光定向照射装置

权利要求书

1. 一种光定向照射装置，具备偏振光照射单元、工作台和扫描单元，所述光定向照射装置的特征在于：

所述偏振光照射单元具备紫外线照射单元和偏振单元，

所述偏振单元具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器，

所述单位起偏器使从所述紫外线照射单元出射的紫外线偏振，

所述工作台能够载置在表面形成了定向膜的基板，

所述扫描单元通过使所述工作台或所述偏振光照射单元的至少一方移动，从而相对于载置于所述工作台的所述基板，使来自所述偏振光照射单元的紫外线沿既定的扫描方向扫描，

所述单位起偏器的邻接面以及所述单位起偏器的邻接方向相对于扫描方向倾斜，并且

所述单位起偏器的邻接方向相对于扫描方向倾斜。

2. 根据权利要求1所述的光定向照射装置，其特征在于，具备：

定向方向调整单元，其能够通过使所述工作台或者所述偏振光照射单元转动来调整在定向膜形成的定向方向。

3. 根据权利要求1或权利要求2所述的光定向照射装置，其特征在于：

所述单位起偏器为矩形形状。

4. 根据权利要求3所述的光定向照射装置，其特征在于：

所述单位起偏器的邻接面相对于所述单位起偏器的邻接方向倾斜。

5. 根据权利要求1或权利要求2所述的光定向照射装置，其特征在于：

所述单位起偏器为平行四边形形状。

6. 根据权利要求1至权利要求4中的任一项所述的光定向照射装置，其特征在于：

所述扫描单元使用线性电动机使所述工作台移动。

7. 根据权利要求1至权利要求6中的任一项所述的光定向照射装置，其特征在于：

所述偏振光照射单元具备将从所述偏振单元出射的紫外线的一部分遮光的遮光掩模。

8. 根据权利要求1至权利要求7中的任一项所述的光定向照射装置，其特征在于，具备：

消光比调整单元，其能够通过使所述偏振单元转动来调整消光比。

9. 根据权利要求1至权利要求7中的任一项所述的光定向照射装置，其特征在于：

所述单位起偏器为线栅起偏器。