[发明专利]玻璃板切断方法

说明书

技术领域

本发明涉及将玻璃板熔断的切断技术的改良。

背景技术

以往，作为将玻璃板切断的方法，使用了在玻璃板的表面形成划线之后，使弯曲应力作用于该划线而进行割断的方法(基于弯曲应力的割断)；或者在玻璃板上形成初始龟裂之后，利用激光的照射热使该初始龟裂发展而进行割断的激光割断(基于热应力的割断)。

然而，在基于弯曲应力的割断中，存在无法避免微小玻璃粉的产生，而该微小玻璃粉在切断后的清洗中也不容易除去这样的问题。这种问题在要求高度的清洁性的显示器用途等的玻璃基板中尤其成为问题。而且，在基于弯曲应力的割断中，玻璃板的切断端部呈有棱角的形状，容易产生缺口等缺陷，因此需要在切断后对玻璃板的切断端部实施倒角加工。

另一方面，在激光割断中，虽然能够几乎无缺陷地将玻璃板割断，但是在将割断后的玻璃板分离时，极难避免玻璃板的切断端面彼此的接触。因此，在分离时，由于玻璃板的切断端面彼此的磨擦等而可能在切断端面上形成微小缺陷。而且，在激光割断中，与上述的基于弯曲应力的割断同样，由于玻璃板的切断端部呈有棱角的形状，因此也需要在切断后实施倒角加工。

作为应对这种问题的切断方法，激光熔断受到注目。

激光熔断是利用激光的照射热边将玻璃基板的一部分熔融除去，边将玻璃板切断的方法。因此，在激光熔断中，能够防止玻璃粉的产生。而且，通过不需要玻璃的熔融除去而在熔断端面(切断端面)之间形成规定的间隙，能可靠地避免在分离时玻璃板的熔断端面彼此发生接触这样的事态。而且，由于熔断端面成为熔融而形成的平滑的锻造面，因此即使不另行实施倒角加工，也不易发生损伤。

但是，就这种激光熔断而言，在实际应用中也存在问题。

即，当利用激光将玻璃板熔断时，存在与急剧的温度上升相伴的过度的热应力作用在该激光的照射区域的附近这样的问题、或者在熔断端面附近产生热残余变形这样的问题。并且，在上述问题的影响大的情况下，玻璃板有时会因翘曲等而发生变形或破损。

因此，例如在专利文献1中公开了一种技术：在利用散焦的激光对玻璃基板进行预备加热之后，利用聚光于微小点的激光将玻璃板熔断，然后，再次利用散焦的激光进行退火，由此减少热变形。

需要说明的是，在该文献中，退火用的激光与熔断用的激光同样地从正上方对玻璃板垂直进行照射。

另外，在该文献中，在玻璃基板的切断预定线上分别排列有预备加热用的激光的输出端、熔断用的激光的输出端、及退火用的激光的输出端(激光照射器)，各个激光的照射区域彼此隔开间隔而成为独立的状态。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭60-251138号公报

发明内容

发明要解决的课题

<第一课题>

然而，在专利文献1的情况下，由于退火用的激光从玻璃板的正上方向玻璃板的上表面垂直入射，因此激光所产生的热影响必然偏向玻璃板的上表面侧。其结果是，未能充分地进行玻璃板的熔断端面整体的退火，在玻璃板的熔断中或熔断后，受到热残余变形的影响而玻璃板依然会产生翘曲等变形。

此外，也考虑了取代上述那样在熔断中途与熔断并行地进行退火，而在熔断完成后对分离了的玻璃板的熔断端面个别地实施退火(anneal)的方法，但这种情况下会产生如下的问题。即，近年来，实际情况是以显示器用途的玻璃基板为首而不断推进玻璃板的薄板化，在熔断中途一旦玻璃板产生翘曲等变形的话，在之后的处理时可能会导致破损，或者根据情况的不同而玻璃板可能在产生了变形的时刻发生破损。因此，若考虑到玻璃板的薄板化的要求，则在熔断中途与熔断并行地进行退火是至关重要的。

本发明鉴于以上的实际情况，其第一课题是在对玻璃板进行熔断和与熔断并行的退火时，可靠地使玻璃板的熔断端面退火，尽量减少玻璃板产生翘曲等变形这样的事态。

<第二课题>

而且，在专利文献1中，在玻璃板的上方空间排列的三个激光照射器各自的照射区域彼此隔开间隔而独立，因此在各照射区域之间供给的热能会产生损失。在进行预备加热的照射区域与进行熔断的照射区域之间，需要使玻璃板的温度为更高温，因此若在这两个区域之间损失热能的话，则预备加热效果会下降而产生浪费。而且，当预备加热效果下降时，熔断时的玻璃板的温度上升幅度变大，因此在热冲击下玻璃板也可能发生破损。此外，若进行熔断的照射区域与进行退火的照射区域分离，则在这两个区域之间也会损失热能。因此，在这两个区域之间，熔断了的玻璃板急剧冷却，在热冲击下玻璃板也可能发生破损。