[发明专利]一种电子束装置、吸气器片和制造装配有所述吸气器片的电子束装置的方法

权利要求书

1.一种电子束装置（100），其具有设置有出射窗（104）的主体（102），所述主体（102）形成或至少部分地形成真空室，所述真空室包括在其中的阴极外壳（112）和至少一个电子产生丝状体（120），其中，至少一个吸气器片（124）被设置在所述阴极外壳（112）和所述丝状体（120）之间。

2.根据权利要求1所述的电子束装置（100），其中所述主体（102）是细长的形状，所述出射窗（104）在所述管状体（102）的纵向方向上延伸，所述阴极外壳（112）是细长的形状，并且所述至少一个电子产生丝状体（120）沿所述阴极外壳的所述细长形状部延伸。

3.根据权利要求1或2所述的电子束装置（100），其中，所述至少一个吸气器片（124）被配置在所述阴极外壳（112）中。

4.根据权利要求1或3所述的电子束装置（100），其中，所述吸气器片（124）被布置成弯曲的以配合在阴极外壳（112）中，并通过其自身的回弹力保持在合适位置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的电子束装置（100），其中，所述吸气器片（124）设置有用于提供所述吸气器片（124）和所述阴极外壳（112）的内表面之间的间隙的至少一个间距折板（130,132）。

6.根据前述权利要求中任一项所述的电子束装置（100），其中，所述吸气器片（124）的厚度在0.025-0.075毫米的范围内。

7.根据前述权利要求中任一项所述的电子束装置（100），其中，所述阴极外壳（112）形成为细长的半环形壳体，并且所述至少一个丝状体（120）基本居中于所述细长的半环形壳体内并沿所述细长的半环形壳体延伸。

8.根据前述权利要求中任一项所述的电子束装置（100），其中，所述吸气器片（124）是非蒸发型的。

9.根据权利要求8所述的电子束装置（100），其中，所述吸气器片（124）包括来自元素周期表中的IV-A族的材料。

10.根据权利要求9所述的电子束装置（100），其中，所述吸气器片（124）是由锆制成的。

11.根据前述权利要求中任一项所述的电子束装置（100），其中，一个或多个吸气器片（124）沿着所述阴极外壳（112）的细长形状部布置，所述一个或多个吸气器片（124）被布置在所述丝状体（120）的电子产生长度内。

12.根据权利要求11所述的电子束装置（100），其中，一些吸气器片（124）相继地沿所述阴极外壳（112）的所述细长形状部布置，所述吸气器片（124）被布置在所述丝状体（120）的电子产生长度内。

13.根据权利要求5-12中任一项所述的电子束装置（100），其中，在吸气器片（124）中有至少一个切口（134），使得来自在所述吸气器片（124）和所述阴极外壳之间的间隙的气体循环变得容易。

14.一种吸气器片（124），其在电子束装置中使用，其中，所述吸气器片包括包含锆或钛的片材料，所述吸气器片设置有至少一个间距折板（130，132）用于提供所述吸气器片（124）和所述电子束装置（100）的表面之间的间隙，并且被布置成弯曲的以在所述阴极外壳（112）和所述丝状体（120）之间装配到所述电子束装置的阴极外壳（112）中，并且通过其自身的回弹力将保持在合适位置。

15.一种用于制造电子束装置（100）的方法，该电子束装置（100）具有主体（102），所述主体（102）具有出射窗（104），所述主体（102）形成或至少部分地形成真空室，所述真空室包括在其中的阴极外壳（112）和电子产生丝状体（120），其中，所述方法包括：在所述阴极外壳（112）和所述丝状体（120）之间布置至少一个吸气器片（124）的步骤。