[发明专利]电子束装置和制造所述电子束装置的方法有效

专利信息
申请号: 201280030018.5 申请日: 2012-06-27
公开(公告)号: CN103620696A 公开(公告)日: 2014-03-05
发明(设计)人: 库尔特·霍尔姆;托妮·瓦贝尔;乌尔斯·霍斯泰特勒;汉斯·沃纳什 申请(专利权)人: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
主分类号: G21K5/04 分类号: G21K5/04;H01J3/38
代理公司: 上海胜康律师事务所 31263 代理人: 李献忠
地址: 瑞士*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要:
搜索关键词: 电子束 装置 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种电子束装置(100),其具有带有电子出射窗的细长形状(104)的管状主体(102),所述电子出射窗(104)沿所述管状主体(102)的纵向方向延伸,所述管状主体(102)至少部分地形成真空室,所述真空室其中包括阴极,所述阴极包括具有细长形状的阴极壳体(112)、以及至少一个电子产生丝状体(120)和控制栅(114),所述至少一个电子产生丝状体(120)和所述控制栅(114)都沿所述细长形状的所述阴极壳体(112)延伸,其中,所述控制栅(114)和所述阴极壳体(112)通过附接装置(118)彼此连接,并且其中,所述控制栅(114)或所述阴极壳体(112)的自由纵向端部彼此沿朝向对方的方向弯曲,从而形成隆起状成形部(126),以用于形成电子束成形电极。

2.根据权利要求1所述的电子束装置(100),其中,所述控制栅(114)具有基本上居中定位的多孔表面(115),电子能够通过该多孔表面(115),并且其中,所述控制栅(114)或所述阴极壳体(112)的所述纵向端部彼此沿朝向对方的方向并在所述控制栅(114)上方弯曲,以便所述隆起状成形部(126)延伸到所述多孔表面(115)的纵向边界(130)。

3.根据权利要求1或2所述的电子束装置(100),所述隆起状成形部(126)被形成为使得其自由边缘(132)指向基本上垂直于所述控制栅(114)的所述多孔表面(115)的方向。

4.根据权利要求3所述的电子束装置(100),所述自由边缘(132)基本上一直向下延伸至所述控制栅(114)。

5.根据前述权利要求中的任何一项所述的电子束装置(100),其中被弯曲以形成所述隆起状成形部(126)的所述纵向端部在所述附接装置(118)上方弯曲以至少部分地包封所述附接装置(118)。

6.根据前述权利要求中的任何一项所述的电子束装置(100),其中,所述阴极壳体(112)被形成为细长的半环形壳,该半环形壳的开口侧被所述控制栅(114)覆盖。

7.根据权利要求6所述的电子束装置(100),其中所述至少一个丝状体(120)基本上居中于所述阴极壳体(112)的所述细长半环形壳内并沿着所述阴极壳体(112)的所述细长半环形壳延伸。

8.根据前述权利要求2-7中的任何一项所述的电子束装置(100),其中,所述隆起状成形部(126)形成在所述控制栅(114)中,其中,所述阴极壳体(112)的自由纵向端部向内弯曲并形成基本上与所述控制栅(114)的所述多孔表面平行取向的径向突起(116),其中,所述附接装置(118)连接到所述阴极壳体(112)的所述突起(116),并且其中所述附接装置(118)还连接到所述控制栅(114)的被设置在所述多孔表面(115)和所述隆起状成形部(126)之间的区域。

9.根据前述权利要求中的任何一项所述的电子束装置(100),其中,所述控制栅(114)和所述阴极壳体(112)被连接到分隔的电源,且其中,所述附接装置(118)是电隔离器元件。

10.根据权利要求9所述的电子束装置(100),其中所述电子束装置(100)是三极管型的,其中所述丝状体(120)连接到第一电源,所述阴极壳体(112)连接到第二电源,并且所述控制栅(114)连接到第三电源,并且其中,所述管状主体(102)和所述电子出射窗(104)接地。

11.根据前述权利要求中的任何一项所述的电子束装置(100),其中,所述阴极壳体(112)由不锈钢制成。

12.根据前述权利要求中的任何一项所述的电子束装置(100),其中,所述控制栅(114)由不锈钢制成。

13.根据前述权利要求中的任何一项所述的电子束装置(100),其中,所述管状主体(102)由不锈钢制成。

14.根据前述权利要求中的任何一项所述的电子束装置(100),其中,所述附接装置(118)由陶瓷材料制成。

15.制造电子束装置(100)的方法,所述电子束装置(100)具有带有电子出射窗(104)的细长形状的管状主体(102),所述电子出射窗(104)沿所述管状主体(102)的纵向方向延伸,所述管状主体(102)至少部分地形成真空室,所述真空室其中包括阴极,所述阴极包括具有细长形状的阴极壳体(112)、以及至少一个电子产生丝状体(120)和控制栅(114),所述至少一个电子产生丝状体(120)和所述控制栅(114)都沿所述细长形状的所述阴极壳体(112)延伸,其中所述方法包括以下步骤:通过附接装置(118)使所述控制栅(114)和所述阴极壳体(112)彼此连接,并且使所述控制栅(114)或所述阴极壳体(112)的自由纵向端部彼此沿朝向对方的方向弯曲,从而形成隆起状成形部(126),以用于形成电子束成形电极。

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